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基于Zemax简单连续变倍显微物镜设计 　　摘要： 针对目前工业检测用的连续变倍显微物镜分辨率低的问题，结合机械补偿结构的变焦原理，实现了基于Zemax的简单连续变倍显微物镜设计。该物镜由6片材料为F1、K9、ZF3组合的双胶合组构成，结构简洁成像质量接近衍射极限，可以0.7×～4.5×连续变倍，能与1/3英寸CCD匹配。利用MATLAB对变倍组和补偿组的运动轨迹进行拟合，验证了其可行性，结果表明整个连续变倍显微物镜满足工业视频检测的使用要求。 　　关键词： 连续变倍显微物镜； Zemax； MATLAB 　　中图分类号： O 439文献标识码： Adoi： 10.3969/j.issn2013.05.010 　　引言 　　连续变倍显微物镜观察范围较广，因其焦距可以连续改变，其放大倍数也可连续改变，既可适用于自然科学的教学研究，也适用于医疗机构的日常检查、生物工程等科学研究，且可实现工业装配、测试、测量。目前市场上一部分显微镜放大倍率固定，分辨率不高。为此，本文利用MATLAB和Zemax软件设计了一款结构简单、像质优良、能与CCD匹配的连续变倍显微物镜。 　　1变焦原理 　　通常变焦系统的物平面并不在变倍组的物平面上，这需要一个透镜或镜组来把指定的物平面成像到变倍系统所需要的物平面上，此透镜组称之为变倍系统的前固定组。若变倍系统所成像的位置和大小与使用要求有差异，此时需要一个透镜或镜组将变倍系统所成的像转折和缩放到所需要的位置，从而满足成像位置和大小的要求，这个透镜或镜组就称为后固定组。因此，一个变倍镜头往往分为前固定组1、变倍组2、补偿组3、后固定组4，如图1所示其中变倍组和补偿组称之为变倍系统。 　　变焦依赖于变倍组和补偿组二组元同时运动，虽前固定组和后固定组的焦距不影响变倍比，但影响 　　整体焦距在特定范围内的变化。图2所示为变焦运动过程，镜组1、2、3、4分别为前固定组、变倍组、补偿组和后固定组，各组间距分别为d12、d23、d34，图2（a）、（b）、（c）分别为不同倍率下变倍组合补偿组的位置关系。前固定组是为了使被摄物体成像在变倍组2的物面上，其中d12min的取值只需保证2组间不碰撞即可。后固定组将物体被前固定组、变倍组和补偿组所成像按照特定的焦距变化范围成像于整个系统的像面上[1]，使像差与变倍部分（包括前固定组、变倍组和补偿组）相匹配，确保整个变倍系统像差的平衡。为此，要求变倍系统满足倍率变化和像面位置稳定之外，还要求各个倍率位置下的像质良好。d34min的取值要保证变倍时补偿组不与后固定组相撞，但透镜组之间的最小距离需根据各个透镜组前的主面和其第一面、后主面和其最后一面的距离来确定[2]。 　　2设计过程 　　设计技术指标：显微物镜的放大倍率为0.7×～4.5×，像高为3 mm，数值孔径NA0.8，波长为0.486～0.656 μm，物像共轭距400 mm，工作距离为50～100 mm。 　　2.1初始结构的选定 　　变倍比约为6的连续变倍显微镜常用的结构型式为“正负负正”。对文献[3]所提到的某连续变倍体视 　　显微镜进行分析，对其进行焦距缩放并使用操作数PMAG对各状态下的放大倍率进行优化反复修改，得到0 　　.7×～4.5×的初始结构，选取低倍0.7×、中倍2.3×和高倍4.5×进行设计，其中低倍的结构见图3， 　　其中显示的光线为主光线和边缘光线。可以看到，该系 　　统结构简单，符合设计要求。为了方便比较，采取倒置结构中的低倍进行分析，从图4所示的低倍MTF曲线可知，图中T与S分别表示各视场下切线面和弧矢面的成像MTF曲线。由图4知其成像效果并不十分理想，因而以此产品为初始结构进一步进行像差校正。 　　2.2Zemax像差的校正 　　在优化设计时，需要对许多变量进行约束，一般仅对空气间隙和玻璃厚度进行约束。而变焦系统的设计需要对每个组态下分别设置操作数来进行约束和优化。就本设计而言，对各组态下的放大倍率使用PMAG操作数对镜片的长度使用TTHI操作数进行约束。 　　一般在高倍时修改前固定组参数，低倍时修改后固定组的参数以得到更好的像质[4]。经过多次优化，最终对整个系统在各倍率下的成像质量进行了一定的平衡，保证各倍率下的成像质量均良好，完成了整体光路的设计。 　　2.3设计结果 　　本设计采用K9、ZF3、F1玻璃的组合。前工作距离为85 mm，后工作距离为200 mm，共轭距为382.5 mm，基本满足设计要求。前固定组的焦距为41.06 mm、变倍组焦距为-32.84 mm、补偿组的焦距为-24.02 mm、后固定组的焦距为42.49 mm，后固定组第一片为孔径光阑，低倍时满足孔径要求。从图5可以看出，变倍组和补偿组都是一个双胶