气体用量监控系统之设置与整合.PDF

Macronix Confidential 氣體用量監控系統之設置與整合 1 2 3 4 5 黃翰士 、賴俞瑾 、楊詠淇 、蔡川瀛 、林宗良 旺宏電子股份有限公司晶圓一廠 廠務部 水氣化課 1 2 3 HHHuang@.tw ,YCLai@.tw ,YCYang@.tw , Rivertsai@.tw4,Kevinlin@.tw5 摘要 態儲存於鋼瓶內；低蒸氣壓的氣體則以液態儲存 於鋼瓶內。而氣瓶櫃則會根據填充氣體特性設定為 重量或是壓力切換，以方便供應端進行用量管控。 半導體工業