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浅谈MEMS传感器及其封装技术 苏州捷研芯纳米科技有限公司 MEMS传感器及IC微模块封装解决方案 MEMS传感器市场规模 苏州捷研芯纳米科技有限公司 MEMS传感器及IC微模块封装解决方案 MEMS传感器应用领域 苏州捷研芯纳米科技有限公司 MEMS传感器及IC微模块封装解决方案 MEMS定义 Ø 国际上对微机电系统的定义与称谓 （1）MEMS(Micro Elector Mechanical System) 美国 是由电子和机械组成的集成化器件或系统。 （2 ）Micro System 欧洲 微系统由多个微元件组成，并作为一个完整的系统进行优化，以提供一种或多种特定功能。 （3 ）Micro Machine 日本 微机械是由只有几毫米大小的功能元件组成的。 苏州捷研芯纳米科技有限公司 MEMS传感器及IC微模块封装解决方案 Ø MEMS微机电系统