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基于复模式匹配半矢量硅基光波导模式求解方法 　　摘要：提出了一种基于半矢量复模式匹配方法的类矩形波导模式求解方法，利用一维复模式求解和复模式匹配方法，求解包括矩形波导在内的任何类矩形波导的电磁场分布和有效折射率。首先在波导一个维度进行差分离散，得到一维复模式分布，在另一个维度利用波导的边界条件和电磁场在波导内的奇偶分布特性得到解析关系，最后通过求解特征矩阵得到类矩形波导中电磁场的分布。与传统方法相比，利用复模式匹配方法求解类矩形波导中的模场具有计算精度高，适用范围广等优点。 　　关键词： 矩形波导；复模式匹配；半矢量 　　Abstract： In this paper， a new two dimensional rectangle-like waveguide mode based on semi-vectorial complex mode-matching-method is proposed. Utilizing one-dimensional complex modes and complex mode-matching method， the electromagnetic filed distribution and effective index of waveguide modes can be obtained. The one-dimensional mode distribution can be obtained by using difference discrete in one dimension of the waveguide and the analytic relationship of the other dimension can be solved by using the boundary condition and parity distribution characteristic of the electromagnetic field in the waveguide. The electromagnetic field can be derived by solving the eigenmatrix. Compared with the full vector method， the solution we proposed has the wide application and high accuracy. 　　Key words： wo-dimensional waveguide； complex mode-matching-method； semi-vector 　　硅基光电集成技术将光器件小型化并和微纳电子器件集成到同一硅衬底上，形成一个完整的具有新型功能的新型大规模集成芯片[1-3]，是光通信技术发展的趋势。受工艺条件限制，硅基光波导通常采用类矩形的结构（条型波导、脊型波导等）[4-5]。因此，如何精确求解出波导中的模式，利用模式分析方法来研究硅基光电器件的光传输性能，从而指导集成芯片的设计，就变得尤为重要。常用的求解波导模式的方法包括：有限差分法[6]、有限元法[7]等数值计算方法，此类方法由于求解精度与网格尺寸有关，导致在高精度情况下计算量较大。为简化波导分析过程，我们利用一维平板波导的复模式分析方法和复模式匹配的方法[8-9]建立了类矩形波导的半解析模式求解算法。将类矩形波导拆分，如图1所示，在横截面沿一个维度将波导拆分成几个均匀的单元，每个单元作为平面波导来处理，求解每个单元利用完全匹配层（PML）和完美反射边界（PRB）截断的复模式分布[10-12]，在界面处利用电磁场的连续性进行模式匹配，得到另一维度下的解析关系，从而求解出模场的分布和传播常数的大小。由于大尺寸硅基光波导中的横电波模式（TE）和横磁波模式（TM）的主要场分量Ey、Hx、Hz和Ex、Hy、Ez比其他场分量大几个数量级，以下主要针对两种模场（TE和TM）的主要场分量进行了分析（半矢量分析）。 　　1 一维平板模式 　　假设在一维平板波导中的传播方向为u，平板波导的折射率只在y方向变化，结构沿v方向是均匀的。基于半矢量分析方法，波导中只需考虑TE或TM分量，下文中以TE的模式为例，TM模式分析方法与TE模式分析方法一致。 　　TE模的3个场分量可以表示成： 　　2 二维平面模式 　　在平板波导的坐标系下，电磁场的传播方向为u，结构沿v向均匀，折射率变化的方向为y方向。将几个平板波导在xyz坐标系下组合，如图2所示，电磁场可沿xz平面内的任意方向传播，因此可将传播常数分解到x和z方向，场分量分解到xyz坐标系中。 　　对于平板波导TE模来说，Hy分量在坐标转换时