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基于分支定界算法集束型装备调度研究 　　摘要：考虑有滞留时间约束的集束型晶圆制造装备调度问题，其调度要同时考虑晶圆加工排序和机械手搬运作业排序，给出了基于图论的分支定界算法，并采用最长路径方法确定调度目标。仿真实验结果验证了算法的有效性。 　　关键词：集束型装备；分支定界算法；晶圆制造 　　中图分类号：TP301 文献标识码：A 文章编号：1009-3044（2018）09-0242-02 　　Abstract：This paper addresses the cluster tools scheduling problem with residency time constraints for wafer fabrication. The scheduling object is to determine both wafer input sequence and transfer robot task sequence. A branch and bound algorithm based graph theory is proposed， and the longest path method is to determine the scheduling object. Experimental example shows that the proposed method is effective. 　　Key words：Cluster Tools； Branch and bound algorithm； Wafer fabrication 　　1 引言 　　集束型?b备由若干单晶圆加工模块和一个计算机控制的物料搬运机械手组成。晶圆在加工模块上的停留时间可以在给定的时间上下界范围之内柔性变化，称为滞留时间约束。该类调度问题与经典的流水车间调度的区别在于：不仅要合理安排晶圆加工的排序问题，还要有效地规划机械手搬运作业的排序问题，因此更加复杂[1，2]。本项目采用JAVA语言编程实现基于图论的分支定界算法，该算法设计上采用枚举树表示晶圆分布和机械手搬运作业排序，利用深度搜索和广度搜索遍历枚举树，并采用有向图的最长路径算法确定调度目标。 　　2 问题描述 　　为了研究集束型装备的调度问题，本文从基于图论的分支定界算法研究，采用遍历枚举树确定晶圆分布情况、机械手搬运作业顺序等，并采用最长路径确定调度目标。具体的技术路线如下：首先构建包括加工模块能力约束和机械手搬运能力约束的数学规划模型，并采用基于Java的IBM CPLEX软件求解，并作为分支定界算法的比较基准。其次，研究的分支定界算法主要通过求解一系列的线性规划问题来获得研究问题的最优调度周期时间。为了有效求解上述线性规划问题，将求解T的问题转化成有向图中求解最长路径的问题[3]；最后分支定界算法主要由三个分支定界树A、B以及C组成，其中树A、B用来枚举可能的初始晶圆分布情况和晶圆加工顺序，而树C负责枚举树A或B中未被删除的叶节点对应的机械手搬运作业顺序。 　　3 算法实现 　　3.1 分支定界算法 　　分枝定界算法由Land等[4]在20世纪60年代提出，是最为流行的规划方法之一，其应有非常广泛。它的基本思想是先求出整数规划问题A所对应的线性规划问题B的最优解，如果该解不符合A的整数条件，那么B的最优目标函数必是A最优目标函数的上界，而A的任意可行解的目标函数值是其最优值的下界。然后将B的可行域分成子区域（称为分枝），逐步减少上界和增大下界，最终求得最优解。在调度问题的研究上，分枝定界算法一直是最重要的算法之一，如文献[5～8]分别提出了不同的分枝定界算法，它们的不同主要表现为分支规则、定界机制和上界三个方面的差异。 　　本文研究的分支定界算法由三个嵌套的分支定界树组成，分别称为分支定界树A、树 B和树C。若从A树生成的初始工件分布可得知所有工件的加工顺序，则直接激活分支定界树C；反之，则激活分支定界B树并且接着 A树的枚举工作继续枚举剩余工件的加工顺序。当B树枚举完剩余工件的加工顺序后，再激活分支定界树C。A树和B树实质上都是在枚举工件的加工顺序，设计它们的目的是首先删除不可能的初始工件分布和确保所有工件的加工顺序已知。其次是在A 树或B树枚举完所有工件的加工顺序之后，再由分支定界树C负责隐枚举保存下来的可能的初始工件分布和可能的所有工件的加工顺序所对应的机械手搬运作业顺序，这样做可以缩小搜索空间和节省搜索时间。 　　3.2 基于有向图的最长路径算法求解 　　分支定界算法主要通过求解一系列的线性规划问题来获得研究问题的最优生产周期。分枝定界算法中任意节点[o]对应的线性规划问题描述如下： 　　上述模型的目标函数为最小化生产周期T，约束条