元盛化金软板SEM监控报告.ppt

泉鎰興電子科技（深圳）有限公司 泉鎰興電子科技（深圳）有限公司 Quan Yi Xing Electronic Tech (SZ) Co . , Ltd. 元盛化金軟板SEM監控報告 www.WMG-T Contents:分析項目 鎳面SEM狀況 目的 賽寶分析結果 小結 www.WMG-T Contents：目的 珠海元盛化金線從09年12月25日使用我司AC-700+QPA-100+NPR-8+IMG-TN藥水以來，共配3個鎳槽，現將珠海元盛軟板鎳面SEM監控狀況統計如下： www.WMG-T Contents:第一個鎳槽鎳面SEM狀況 2009年12月25日新配第一個鎳槽： 12月27日取樣，料號10059 鎳面無明顯腐蝕現象，上述的白色小顆粒為金粉，為剝金時金未完全剝干凈導致 www.WMG-T Contents:第二個鎳槽鎳面SEM狀況 2010年1月6日凌晨1點新配第二個鎳槽： 1月6日取樣，料號9321 鎳面無明顯腐蝕現象 www.WMG-T Contents:第三個鎳槽鎳面SEM狀況 2010年1月20日凌晨1點新配第二個鎳槽： 1月26日取樣，料號不詳 鎳面無明顯腐蝕現象，鎳面晶格比較明顯且顆粒較大，已鎳槽沉積速率過快有關系 www.WMG-T Contents:賽寶分析鎳面SEM 元盛客戶取QY和WL在1月22日生產板9321到賽寶進行SEM分析對比，結果如下： 從分析結果來看，WL鎳面SEM狀況比QY要明顯好一些 QY WL www.WMG-T Contents:賽寶分析鎳面SEM 2010年2月1日與元盛萬經理和陳工一起開會討論，確認送至賽寶分析的板，QY取樣為首件生產板，而WL為制程量產板。 對比取樣的金鎳厚度如下（以下數據來源于元盛廠內）： 項目 序號 测试板 鎳厚度μm 金厚度μm 數據結果 QY 1 4.572 0.076 2 4.806 0.079 3 4.410 0.064 4 4.907 0.066 標準 2-5um ≥0.05um 平均值 4.67 0.071 項目 序號 测试板 鎳厚度μm 金厚度μm 數據結果 WL 1 3.516 0.035 2 3.628 0.040 3 3.460 0.040 4 3.301 0.044 標準 2-5um ≥0.05um 平均值 3.48 0.039 www.WMG-T Contents:賽寶分析鎳面SEM 重新對送至賽寶分析的Sample到我司進行確認，同時取1月27日量產的板進行再次確認鎳面狀況。 送至賽寶的QY sample 送至賽寶的WL sample 1月27日制程QY sample www.WMG-T Contents：金鎳厚度測量 項目 序號 测试板 鎳厚度μm 金厚度μm 數據結果 1 4.64 0.068 2 4.71 0.065 3 4.67 0.072 4 4.69 0.072 標準 2-5um ≥0.05um 平均值 4.68 0.069 送至賽寶的QY sample 項目 序號 测试板 鎳厚度μm 金厚度μm 數據結果 1 3.55 0.044 2 3.62 0.043 3 3.48 0.042 4 3.49 0.042 標準 2-5um ≥0.05um 平均值 3.53 0.043 項目 序號 测试板 鎳厚度μm 金厚度μm 數據結果 1 2.31 0.065 2 2.32 0.060 3 2.51 0.059 4 2.47 0.063 標準 2-5um ≥0.05um 平均值 2.41 0.062 送至賽寶的WL sample 1月27日制程QY sample 以上數據來源于QY廠內 www.WMG-T Contents：QY鎳面SEM 鎳面SEM明顯存在麻點腐蝕，與賽寶分析結果差異不大 www.WMG-T Contents：WL鎳面SEM 鎳面SEM腐蝕狀況很輕微，與賽寶分析結果差異不大 www.WMG-T Contents：制程QY鎳面SEM 鎳面SEM腐蝕狀況很輕微，無麻點腐蝕現象 www.WMG-T Contents:小結 通過上述的分析結果可以看出，我司QY在元盛新配三個鎳槽，其生產板鎳面SEM狀況均良好，無明顯腐蝕現象。 由于送至賽寶分析的QY生產板由于金厚度明顯高于WL的板，故鎳面腐蝕狀況要嚴重很多，建議在取相同條件下的樣品進行分析確認。 同時取QY生產的正常制程板，鎳面腐蝕狀況良好。 www.WMG-T 泉鎰興電子科技（深圳）有限公司 泉鎰興電子科技（深圳）有限公司 Quan Yi Xing Electronic Tech (SZ) Co . , Ltd.