太阳电池材料、制备工艺跟检测-chapter8.pptVIP

8.4.1 结构 8.4.2 性能分析 2. 工艺 去除切割损伤和织构化后，表面轻扩散和生长氧化物覆盖整个表面，氧化物在电池工艺中起多重作用，是工艺相对简化的关键。注意不需要像丝印方法那样去除扩散氧化物。然后用激光划线机、机械切割锯，或用其他机械或化学方法在电池上表面开槽。 用化学腐蚀清洗槽后，对槽进行第二次扩散。然后，用蒸发、溅射、丝网印刷或等离子沉积在背表面沉积铝。 在烧结铝和腐蚀掉氧化物后，化学镀镍、铜和银层完成电池金属化。 工艺中一个改进的工序利用Si3N4代替氧化物。 8.4.2 性能分析 8.4.2 性能分析 1. 性能比较 在这种情况下报告了近30%的性能优势，虽然之后丝印电池的改进后这种差距有所减小。同时，BPSolar报告了单位面积的工艺成本事实上是一样的，与丝印电池单位面积的工艺成本相差在4%以内。因此，这提供了每峰瓦低得多的成本和较高的单位面积功率输出。虽然基础投资费用较高，但较低的材料成本弥补了这一缺点。几个欧洲制造商和研究机构对此达成了基本一致的结论。 8.4.2 性能分析 2. 改善原因 填充因子较高是由于金属化栅线较好的电导和这些栅线与重掺杂槽区之间较低的接触电阻； 电压较高是由于上表面扩散较高的方块电阻，结合这些面积上整个的氧化提供极好的表面钝化，以及精区中的重掺杂提供的接触钝化。 埋栅电池达到了接近700mV的开路电压，接近于实验室硅电池曾经