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光刻工艺1.pdfVIP

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  • 2018-08-29 发布于湖北
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光刻工艺1.pdf

    光刻工艺1

    问 题？ 在同一集成电路制造流程中,经历了同样的一系列加工工艺后：如何在 一片硅片上定义、区分和制造出不同类型、不同结构和尺寸的元件? 如何把这些数以亿计的元件集成在一起获得所要求的电路功能? 第六章 光刻工艺 如何在同一硅片上制造出具有不同功能的集成电路？ （上篇） 曾 莹 清华大学微电子学研究所 zengying@mail.tsinghua.edu.cn

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