自支撑聚酰亚胺／锆膜的制备及性能改善.PDF

第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ， ２３ ４ Ｖｏｌ．２３ Ｎｏ．４ 　 　 年 月 ， ２０１１ ４ ＨＩＧＨ ＰＯＷＥＲＬＡＳＥＲＡＮＤＰＡＲＴＩＣＬＥＢＥＡＭＳ Ａ ｒ． ２０１１ 　 ｐ 　 文章编号： （ ） １００１４３２２２０１１０４０９８１０４ 　 自支撑聚酰亚胺／锆膜的制备及性能改善 伍和云， 吴永刚， 吕 刚， 凌磊婕， 夏子奂， 刘仁臣， 唐平林 　 　 　 　 　 　 　 （同济大学 物理系，上海 ２０００９２） 摘 要： 采用直流磁控溅射法制备自支撑锆（ ）膜，采用二步法制备聚酰亚胺（ ）膜，在 膜表面沉积 Ｚｒ ＰＩ Ｚｒ 　　 　 　 膜得到自支撑 ／ 复合膜。均苯四甲酸酐（ ）和二甲基二苯醚（ ）在二甲基乙酰胺（ ）中 ＰＩ ＰＩＺｒ ＰＭＤＡ ＯＤＡ ＤＭＡＣ 反应得到聚酰胺酸（ ），然后 高温亚胺化得到 ； 成膜时采用提拉法成膜。经国家同步辐射实验室 ＰＡＡ ＰＡＡ ＰＩＰＩ 计量线站测定，实际测量结果与理论分析一致， 膜的引入虽然会导致自支撑薄膜透过率有所下降，但在类镍 ＰＩ  银软 射线 波段 （ ）／ （ ）和 （ ）／ （ ）自支撑薄膜的透过率仍然分别 Ｘ １３．９ｎｍ ＰＩ２００ｎｍ Ｚｒ３００ｎｍ ＰＩ２００ｎｍ Ｚｒ４００ｎｍ 达到 和 。 １４．９％ ７．５％ 关键词： 自支撑薄膜； 聚酰亚胺； 聚酰胺酸； 二步法； 亚胺化； 质量吸收系数 　　 　 　 　 　 　 　 中图分类号： 文献标志码： ： ／ ＴＮ２４４ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＨＰＬＰ０９８１ 　　 　 　　　　 　 　　 软 射线波段滤光膜材料主要为金属薄膜，为保证滤光膜在该波段具有较高的透过率，薄膜厚度应做到 Ｘ 　　 ［］ 尽可能薄。对于自支撑薄膜 １来说，由于没有载体支撑，过薄的自支撑薄膜在实验室储存和使用过程中都很容 易破损，使用寿命短，难以保存，甚至很难加工制备。而增加膜厚虽然可以增强薄膜的力学性能，但滤光膜的光 学性能会受到很大影响。为保证自支撑薄膜具有较好的力学性能，同时保持软 射线波段具有较高的透过 Ｘ ［ ］