干涉测量的技术.pdf

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第二章 干涉测试技术 第1节概述 一 光干涉的基本理论 E E i k ⋅r −ωt −δ (1) 1 exp{ ( 1 )} exp{ ( )} E E i k r t ⋅ −ω −δ (2) 2 2 2 * * * ⋅ + ⋅ + I E E E (E(1) E(2) ) (E(1) E(2) ) 2 2 E E 2E E cos + + ⋅ θ 1 2 1 2 + + θ I I 2 I I cos 1 2 1 2 其中 k r k r ( ) θ ⋅ − ⋅ + δ −δ 1 2 1 2 极大值条件 θ − ⋅ + δ −δ π (k k ) r ( ) 2m 1 2 1 2 极小值条件 (k k ) r ( ) (2m 1) θ − ⋅ + δ −δ + π 1 2 1 2 简化并写为标量式结果为 极大值条件 L2 −L1 ±mλ λ 极小值条件 L L (2m 1) − ± + 2 1

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