微操作机器人系统的研究及在微装配中的应用vpw6hwl_.docVIP

（硕士学位论文）微操作机器人系统的研究及在微装配中的应用 摘 要 摘 要 随着科学技术的发展和人们研究领域的不断拓宽操作对象已从宏观领 域扩展到微观领域为完成显微外科细胞操作超精密加工及测量精微 调整及装配等操作对运动系统提出了更高的要求需要达到纳米级的定位 精度本文结合国家 863计划和黑龙江省杰出青年基金项目对纳米级精 密定位系统中的关键技术进行了研究包括压电陶瓷致动器特性分析及建 模驱动电源电容式微位移检测系统精密定位控制方法等方面 在微位移致动器技术方面压电陶瓷具有体积小重量轻分辨率高 响应速度快等其它微位移致动元件不具备的优点是目前较理想的微位移致 动器但它也存在着迟滞蠕变和非线性等缺点针对上述问题本文对压 电陶瓷致动器件的极化原理迟滞和蠕变特性位移和力输出等特性进行了 分析并基于Prandtl-Ishlinskii线性启动算子和线性停止算子得出了能够 完整描述压电陶瓷动态特性的迟滞蠕变模型利用该模型可以较精确的进行 压电陶瓷致动器的自适应建模 在压电陶瓷驱动电源方面针对压电陶瓷致动器运动分辨率主要取决于 驱动电源性能的特点在压电陶瓷致动器电模型建模和功率分析的基础上 对直流放大式高压放大