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基于特种显示器ITO薄膜加热器研究 　　摘 要：本文实验研究了加热器电极电阻与面电阻以及导电银浆涂覆宽度之间的关系，根据实验数据获得了ITO（Indium Tin Oxides）加热器的经验公式，并结合实际生产应用讨论了影响ITO加热器的因素，为特种显示器在极端低温环境下的ITO加热器设计提供了重要的技术支持。 　　关键词：ITO；面电阻；低温加热；特种显示器 　　中图分类号：TN36 文献标志码：A 　　Abstract：The relationship between the electrode resistance and the sheet resistance of the heater and the coating width of the conductive silver paste has been studied . The empirical formula of the ITO heater has been obtained based on the experimental data. According to the actual production， the factors affecting the ITO heater was discussed. It provides important technical support for design of ITO heater for special display in extreme low-temperature environment. 　　Keywords：ITO； Sheet resistance； Low-temperature Heating； Special display 　　0 引言 　　军用特种显示器一般低温工作温度通常不低于-50℃左右，而常规液晶显示器在-30℃左右的环境中，由于液晶分子的黏度系数加大，会导致响应时间变长，图像产生严重拖尾，不能正常工作。为了保证特种显示器能在低温-50℃下仍然可以正常工作且画面切换流畅无拖尾，当前采用较多的方式是利用镀有ITO膜的玻璃（ITO加热器）作为加热元件对液晶显示模块进行低温加热补偿。使其达到正常工作所需的温度要求。 　　ITO薄膜即铟锡氧化物半导体透明导电膜，因其具有高导电率、高透过率、耐腐蚀性等特点，被广泛应用于船舶、航天、航空等特种显示领域。目前ITO加热器主要是通过真空蒸镀法、化学沉积法以及磁控溅射法将ITO薄膜涂镀到光学玻璃表面，在ITO薄膜表面边缘涂覆导电银浆，然后引出电极，使两极之间形成多重并联的等效电阻，通电情况下，等效电阻发热产生热量传导至液晶显示模块，起到低温下液晶模块正常显示的效果。然而，按照常温下方块电阻值设计的加热器，在低温下的实际电极电阻值较理论计算值有较大的出入，导致部分产品设计超出指标要求。 　　本文实验研究了加热器电极电阻与方块电阻以及导电银浆涂覆宽度之间的关系，根据实验数据获得了ITO加热器电极电阻的经验公式，并结合实际生产应用讨论了影响ITO加热器电极电阻的因素，为特种显示器在极端低温环境下的ITO加热器设计提供重要的技术支持。 　　1 理论分析 　　理想状态下，制作好的ITO加热器电极电阻为ITO玻璃的面电阻加上导电银浆带（两条）的电阻： 　　R极 = R□ +2R导 （1） 　　然而在实际生产中，会受到导电银浆涂覆的均匀性、ITO玻璃倒角等的影响，因此在式（1）上需加上一个补偿值V，即： 　　R极= R□ +2 R导 + V （2） 　　考虑到实际生产当中不可能每块玻璃都测导电银浆带电阻，所以将式（2）中的2R导和V进行整合，以V替代，即： 　　R极= R□ + V； （3） 　　涂覆好导电银浆的ITO加热器电极电阻R极，理论上应满足以下公式，即： 　　R极 =（LU / LI）× R□ （4） 　　或 R极 =（LU/ LI）× R□ （5） 　　其中LU是指电压走过的宽度，即两条导电银浆带之间的宽度；LU是指含条导电银浆带在内的宽度，即ITO玻璃的宽度；LI是指电流走过的长度，即导电银浆带的长度。 　　结合公式（2）可得到： 　　R极 =（LU / LI）× R□ + 2R导+ V （6） 　　或R极 =（LU/ LI）× R□+ 2R导 + V （7） 　　由于不论是以LU 还是LU计算，V值都是相同的，所以此处忽略V值，通过公式（6）、（7）反推得到ITO玻璃的面电阻，即： 　　R□ =（LI / LU）×（R极 -2 R导） （8） 　　或 R□=（LI / LU）×（R?O -2 R导） （9） 　　通过实验具体数据分析涂覆好导电银浆的ITO玻璃面电阻R□究竟是