材料现代分析法 透射电镜实验1.pptVIP

材料现代分析方法 透射电镜的结构和成像原理 材料科学与工程学院 2011-09 透射电子显微镜 (Transmission Electron Microscope，TEM) 材料现代分析方法 JEM 2100 分辨率： 点分辨率：0.23 nm 线分辨率：0.14 nm 低压电镜：小于120KV； 中压电镜：200-400KV； 高压电镜：高于400KV； 一.透射电镜结构 电子光学系统 ； 真空系统 10-5 Pa； 供电系统，高压稳定度； 材料现代分析方法 电子光学系统： 照明系统 (电子枪，会聚镜系统） 2. 样品室 3. 成像放大系统 4. 图像观察记录系统 材料现代分析方法 电子枪 聚光镜 样品室 物镜 中间镜 投影镜 荧光屏 照相室 图1 钨灯丝电子枪结构示意图 1——阴极； 2——栅极； 3——阳极；4——电子束交叉点 材料现代分析方法 图2 LaB6电子枪的结构原理图 电子枪 照明系统 LaB6 灯丝 材料现代分析方法 图3 典型的磁透镜剖面图 聚光镜 第一、二级聚光镜 第三级聚光镜 会聚小透镜 图4 不同类型的光阑 材料现代分析方法 照明系统 材料现代分析方法 图5 样品台及其双倾旋转方向 侧入式 样品室 成像放大系统 物镜 中间镜 投影镜 成 像 放 大 系 统 物镜： TEM的核心，