SGKZB2012035台阶仪等设备主要技术指标.DOC

合肥工业大学台阶仪等设备主要技术指标 项目编号：SGKZB2012035 2.1 第一包 台阶仪（膜厚测试仪） 2.1.1 品目号：101 数量：1台 2.1. 主要用于薄膜厚度测量，可获得精确定量的台阶高度、线粗糙度、应力等参数。 2.1.3 1 探针压力：保证在不同力下不破坏样品； 2 ★最佳垂直分辨率: ≤1埃； 3 ★Z轴方向测量重复性≤6埃 (1微米台阶标样)； 4 最大垂直测量范围：≥800微米； 5 ★具备薄膜应力测试功能； 6 最大采样点数120,000点； 7 ★最大扫描长度≥25毫米，扫描速度≥0.01mm/s； 8 需有避震设计, 无需防震台； 9 配备XY手动样品运动台； 10 最薄可测量1纳米厚的薄膜样品； 11 探针易更换，有附送的备用探针； 12 ★配备数码摄像头, 可观察到样品放置情况； 上述技术要求中带“★”号项目为必须满足的关键指标 2.1.4 1 有标定证书的标样一块； 2 主流品牌PC计算机1台，配置要求：Intel双核处理器，主频不低于2.6 GHz；4G内存；500G硬盘；主板集成显卡、声卡、网卡并附带至少4个USB接口，有前置USB接口；19英寸（含）以上液晶显示器；DVD光驱 2.1. 仪器设备应在合同生效之日起45天内到货。 2.2 第二包 变温霍尔效应测试系统 2.2.1 品目号：201 数量：1套 2.2. 主要用于材料的电学和磁学性能测试，可获得方块电阻、电阻率、霍尔系数、霍尔迁移率、载流子浓度及这些参数随温度和磁场变化的曲线。 2.2.3 1 测量指标 （1）电流测量指标：覆盖±100fA～±21mA范围，最小分辨率≤10fA；电压测量指标：覆盖±1nV～±100V范围，最小分辨率≤1nV；本系统所需电测量源表建议为原装进口品牌； （2）★可测阻值范围：覆盖0.5mΩ～50GΩ （3）迁移率：覆盖1～1×106cm （4）载流子浓度：覆盖107 ～ 1021 cm （5）样品尺寸：小尺寸样品，面积为10×10mm 大尺寸样品，面积≥50×50mm2。 2 磁场指标 （1）系统采用可调节间距的变磁场电磁铁，可设定固定磁场和磁场线性连续扫描，可测试各参数随磁场变化的曲线； （2）★最大磁场强度：≥1.3T，连续稳定运行； （3）磁场电源类型：双极，线性电源可平滑过零； （4）磁场测量：系统内置精密高斯计，量程覆盖0～30kGs；分辨率优于5位（含）；精度优于±0.1%（含）； （5）★内置精密高斯计形成闭循环磁场强度控制； （6）★配有循环冷却水机，标准制冷量≥8kW。 3 样品制冷机指标 （1）制冷方式：液氮制冷； （2）★变温范围：覆盖80～300K； （3）专门的制冷机支架，搭配电输运高阻系统使用； （4）制冷机有三同轴电缆线及接口，能进行高阻测试。 上述技术要求中带“★”号项目为必须满足的关键指标 2.2.4 主流品牌PC计算机1台，配置要求：Intel双核处理器，主频不低于2.6 GHz；4G内存；500G硬盘；主板集成显卡、声卡、网卡并附带至少4个USB接口，有前置USB接口；19英寸（含）以上液晶显示器；DVD光驱。 2.2. 仪器设备应在合同生效之日起30天内到货。 2.3 第三包 太阳能电池激光划线系统 2.3.1 品目号：301 数量： 1套 2.3. 主要用于太阳能电池薄膜的精密、精细划线，电池清边，金属箔片的切割，以及刻划电极掩膜板。 2.3.3 1 切割和划线指标 （1）★切割不锈钢片厚度不小于0.1mm，线宽≤0.05mm，平整无翘边； （2）★在不锈钢表面划线，线宽可在0.05～0.2mm范围内调节。 2 激光器指标 （1）★激光器：光纤激光器； （2）★平均输出功率≥18W； （3）重复频率调制范围：覆盖20～80 kHz； （4）★单脉冲能量优于0.8mJ@ 20KHZ； （5）★光束质量：优于1.6 M2（含）； （6）光斑直径：覆盖6～8mm； （7）功率调节范围：覆盖10～100%； （8）功率消耗：≤400W（20℃ （9）冷却方式：水冷或风冷。 3 工作台指标 （1）驱动方式：高精度直线电机； （2）★有效行程：≥280mm×280mm； （3）★定位精度：优于±0.004 mm（含）； （4）重复定位精度：优于±0.003mm（含）； （5）最大速度：≥400mm/s； （6）直线度：优于±0.004 mm（含）； （7）平面度：优于±0.004 mm（含）； （8）最大负载：≥18 Kg； （9）真空吸附工作台。 2.3.4 主流品牌PC计算机1台，配置要求：Intel双核处理器，主频不低于2.6 GHz；2G内存；500G硬盘；主板集成显卡、声卡、网卡并附带至少4个