光学设计-显微镜系统设计实验报告.docxVIP

光学系统设计实验报告 设计题目：测量显微镜光学系统 专业班级：光信息08-1班 学生姓名： 学 号： 指导老师： 一实验目的 了解光学系统设计的基本步骤，学会基本外形尺寸的计算。 熟悉ZEMAX软件的操作，了解操作要领，学会应用基本的相差评价函数并进行优化。 二、实验器材 ZEMAX软件、相关实验指导书 三、设计要求 1）设计说明书和镜头文件。镜头文件包括物镜镜头文件、目镜镜头文件和光学系统镜头文件。 2）部分技术参数选择： ①目镜放大率10 ②沿光轴,目镜最后一面到物面沿光轴的几何距离280毫米 ③对工件实边缘的对准精度为2.2微米 ④其它参数自定 3）其他要求 ①视场大小自定，尽可能大些，一般达到商用仪器的一半。 ②可以不加棱镜。如加棱镜，折转角大小自定。棱镜可以按照等效玻璃板处理。 ③可以对物镜和目镜进行整体优化或独立优化。 ④可以加上CCD。 四、具体设计 1.系统结构设计思路 1)系统结构框图 物体经物镜所成的放大的实像与分划板重合，两者一同经目镜成一放大的虚像。棱镜的型式为斯米特屋脊棱镜，它能使系统成正像，并且使光路转折45°角，以便于观察和瞄准（此处可以不加设计）。为避免景深影响瞄准精度，物镜系统采用物方远心光路，即孔径光阑位于物镜像方焦面上。 （图1 显微镜系统结构图） 2) 等效光路原理图 （图2 显微镜无光轴偏转的等效光路图） 2.外形尺寸计算 1)首先绘出光学系统的等效光路原理图。如图所示，首先将棱镜作为等效空气平板处理。 2)求实际放大率。系统的有效放大率由系统的瞄准精度决定。用米字形虚线瞄准被测件轮廓，得系统有效放大率 由于工具显微镜一般要求有较大的工作距和物方线视场，又要求共轭距不能太长，因而工具显微镜的实际放大率和物镜的放大率均不宜过大。取实际放大率为 3)求数值孔径 4)求物镜和目镜的放大率 目镜的放大率 物镜的放大率 5)求目镜的焦距 6)求视场光阑（分划板）的直径D，考虑到像质及物方线视场的大小，取视场光阑的直径 7)求物方线视场的大小 8)求共轭距(存在等效空气平板) 且有 9)求物镜的焦距 由高斯公式 10)求物镜的通光口径D物和孔径光阑直径D孔 11)求斯米特屋脊棱镜的各尺寸(此次不设计) 3.光学部件的结构形式 1）显微镜物镜的光学性能参数 主要性能参数是：数值孔径，垂轴放大率，视场。 （图3 显微物镜） 可选取低倍物镜 (3-6倍)，如上图所示 2)显微镜目镜的光学性能参数 像方视场角 , 焦距, 出瞳距，工作距离 （图4 显微目镜） 选取对称式目镜，如上图所示 4．光学系统的拼接和优化 1）物镜设计及优化 ①在物镜库中选取符合3倍放大率，焦距在47mm左右的镜头，输入参数，经过优化后物镜成品参数图如图5所示 （图5 显微物镜参数） （备注：由于优化过程复杂，物镜的焦距有变化，但可以保证放大率） ②在像方焦点处设置孔径光阑，并由NA=0.102限制。设置物高为±2mm，取2条权重均为1的特殊光线，光路图如图6所示，物镜共轭距为255mm左右，基本满足设计要求。 （备注：最后在合成时为了使系统成像更加清晰，优化后系统共轭距为243.05033mm，焦距为45.62139mm） （图6 显微物镜光路图） （图7 显微镜物镜数据） ③设置评价函数为默认类型，并限制PMAG放大率为为-3，物镜部分性能函数如图8图9，可见物镜成像较为会聚满足设计要求 （图8 物镜标准点列图） (图9 物镜MTF传递函数) 2）目镜设计（暂时不优化） ①从目镜库中选择10倍放大率的目镜，因目镜成像于无穷远处，为便于分析成像质量，在目镜后添加一块理想透镜对目镜的像进行会聚，参数和光路图如图10图11所示 （图10 显微目镜参数） （图11 显微目镜光路图） ②目镜的数据如图12，等效焦距约为25mm (图12 显微目镜数据) ③目镜成像分析 从光路图中可看出目镜对近轴光线放大后成像效果较好，而对离光轴较远处的光线成像不好，表现在出射光不平行 目镜点列图如图13，物点对于两条远轴光线成像为像斑，成像较差，目镜不做优化，只对组合后显微镜整体优化 （图13 显微目镜点列图） 3）显微镜组合及优化 ①选择将目镜拼接至物镜的方法，并适当修改分划板到目镜的距离使系统长度在260mm，并优化理想透镜的物距使成像为一点，优化后参数及光路图如图14图16所示，成像细节如图15所示 （图14 显微镜优化后参数） （图15 显微镜成像细节） 从成像细节上不难看出出射光线基本满足平行光，且较好地汇聚在了像屏上 （图16 显微镜光路图） ②显微镜系统数据(仅从目镜最后一面到物面沿光轴的部分)如图18所示，从目镜最后一面到物面沿光轴的几何距