阳极键合电流-时间特性模型建立和温度对电流曲线影响.PDFVIP

第10卷 第20 期 Vol.10 No.20 2017 年 10 月 October 2017 阳极键合电流-时间特性模型的建立及 温度对电流曲线的影响 潘明强，孙立宁，刘吉柱，王阳俊，郭 浩* （苏州大学机电工程学院苏州纳米科技协同创新中心，机器人与微系统研究中心， 江苏苏州 215023 ） 摘要：键合的形成与外部宏观键合电流具有很强的协同一致性，键合电流可以间接地反映出键合的状态，而键 合电流的大小主要依赖于键合温度。为获得温度对键合的具体影响因素，实现对键合的有效调控，搭建阳极 键合系统，建立键合电流-时间特性模型，研究温度对键合的影响。首先，搭建键合系统和测试系统，分析阳 极键合的基本过程，通过引入漏电系数对键合