盐城工学院大型精密仪器设备可行性论证报告设备名称精密温控晶体.DOCVIP

盐城工学院 大型精密仪器设备可行性论证报告 设备名称 精密温控晶体生长系统 项目负责人 周海/黄传锦 申报单位 机械工程学院 申报时间 2013-03-17 盐城工学院设备与实验室管理处制 填 表 说 明 一、本表是申报实验室建设项目的主要依据之一,申报单位必须认真填写，字迹工整，内容翔实。 二、凡属大型精密仪器设备购置的，均须填写此表，每个项目填表一份。 三、国产仪器设备和进口仪器设备均须填写国内外同类仪器设备型号，国内供应情况、国外仪器设备性能质量及校内同类仪器设备情况等。 四、申请理由论证，包括国内外同类产品质量、性能调研情况及该仪器设备在学科建设、教学实验及科学研究中的详细用途等。 五、如所购置仪器设备（包括软件）系原仪器设备附件、添置件、或扩大使用功能，请填写上原仪器设备使用机时、培养人数等情况。 六、本表一式二份，分别存设备与实验室管理处及所在部门。 设 备 名 称 精密温控晶体生长系统 型 号 规 格 数 量 1 （台/套） 国 别 中国 单 价 （≥20万元） 人民币 15.2 生产厂 供应厂商 盐城鹏悦电子材料有限公司 李先生美 元 主要技术指标、特点及用途 LJ-B40??晶体生长系统???? ?1．感应加热电源：???25KW/2.5KHz ?2．最高熔炼温度：????2100℃? ?3．冷炉极限真空度：???6.67x10-3?Pa? ?4．充气压力：???0.08?MPa? ?5．炉膛直径：?????￠400mm???? ?6．炉膛高度：???1000mm?? ?7．籽晶杆拉速：?0.5～60mm/h? ?9．籽晶杆转速：????1～50rpm? 10．籽晶杆炉内引程：??? 600mm?? 11．冷却水压：????0.15～0.2MPa?? 12．主机高度：?????2600mm???? 国内外同类 仪器设备 型号规格 生产厂家 供应厂商 性能、指标 单价（人民币/美元） LJ-B40 西安蓝晶机械科技有限公司 联系人：杨先生手机与上面一致 22 SKJ-50 沈阳科晶自动化设备有限公司 联系人：曲先生手机与上面一致 28 校内同类仪器 设备情况 无 一、购置该仪器设备的必要性 该系统能够实现满足蓝宝石、碳化硅、铌酸锂、钽酸锂等晶体的生长要求，是开展光电子材料（蓝宝石、氧化锌、氧化镓、铌酸锂等）、建材（碳化硅等）、精密机械密封件的超精密加工技术研究的必须设备。加工晶体达到光学级质量精度要求。是机械学科中超精密加工实验室的重要设备之一，能够完善超精密工艺的完整性。能够开展研究生和本科生的《工程材料》、《超精密加工技术》课程的相关实验，能够为先进制造技术研究团队提供科研条件，同时对促进光电子、微电子等高科技领域的技术进步具有十分重要的工程意义，同时也对提升盐城光伏产业、LED产业的竞争力提供强有力的技术支撑和服务。故申请购买。 二、国内外同类仪器设备与申报购置的设备指标性能及应用对比论证，所选设备的先进性、适用性、合理性。 本设备采用PLC控制，压力采用温度检测闭环反馈控制，炉内温度、系统真空度、籽晶杆转速等参数操作简单易行，工作可靠稳定。同时设备结构紧凑。与美国设备具有相同的功能，价格是其一半。该设备能够进行蓝宝石、碳化硅、铌酸锂、钽酸锂等晶体的生长要求。 三、设备辅助条件（是否具备安装使用的用房。是否需要特殊水电设施及配套设施，经费落实情况，是否存在环境和安全的因素，有无具体措施） 安装使用的用房已经落实，特殊水电设施及其配套设施也已经到位。不存在环境和安全隐患问题。 四、预计效益分析 1.教学：课程名称、实验项目名称、实验时数、实验学生数（含研究生、本科生） 《超精密加工技术》、超精密抛光 4 70 《工程材料》、非金属晶体材料制备 2 70 综合实验 光电子晶片的制备 1周 35 2.科研：科研方向、课题名称、课题来源、使用机时数 1）江苏省自然科学基金项目，大功率LED衬底基片超精密加工机理及其应用技术研究，每年10个月。 2）江苏省高校科研成果产业化推进项目，半导体照明衬底基片超精密抛光技术与产业化，每年10个月。 3）江苏省高校自然科学基础研究项目，蓝宝石晶片纳米级超光滑加工技术研究，每年10个月。 3.校内外服务：专业、学科、使用机时数 校内服务：机械设计制造及其自动化专业、机械工程学科、无机非金属材料。 校外服务：江苏吉星