一种中小口径非球面元件数控抛光技术-光学精密工程.PDF

第 卷 第 期 光学 精密工程 １３ ２ 　 Ｖｏｌ．１３ Ｎｏ．２ 　 　 　　　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　　　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００５ ４ Ａ ｒ．２００５ 　　 　　 ｐ 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００５０２０１９８０７ 　 一种中小口径非球面元件数控抛光技术 ， １２ １ １ 薛栋林 ，张忠玉 ，张学军 （ 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 光学技术研究中心，吉林 长春 ； １． １３００３３ ２．中国科学院 研究生院，北京 １０００３９） 摘要：基于自主设计研制的ＦＳＧＪ３型非球面数控加工中心，针对口径 φ１０８ｍｍ凸非球面透镜（曲率半 径 ， ），研究了非球面粗抛光工艺、精抛光工艺、抛光设备、磨料以及相关工艺参数，提 犚＝３１８ｍｍ 犽＝－３ 出了规范的中小口径非球面加工的工艺方法和新型轮式抛光技术，实现了中小口径非球面元件的数控 快速精密铣磨成型，且保证了光学零件具有较高的面形精度。抛光后元件面形精度达到 （ ）、 ０．３０６ ＰＶ λ （ ）（ ）。满足了在光学系统中使用非球面零件，明显改善像质，提高光学特 ０．０２８ ＲＭＳ ＝０．６３２８ ｍ λ λ μ 性，减少光学零件数目，从而简化系统结构，减小系统体积，减轻系统质量的目的。 关 键 词：非球面透镜；轮式抛光技术；面形精度 　 　 中图分类号： 文献标识码： ＴＱ１７１．６８ Ａ 　　 犆狅犿 狌狋犲狉犮狅狀狋狉狅犾犾犲犱 狅犾犻狊犺犻狀 狋犲犮犺狀狅犾狅 狆 狆 犵 犵狔 犳狅狉犿犻犱犱犾犲狅狉狊犿犪犾犾犪狊犺犲狉犻犮犾犲狀狊 狆 ， １２ １ １ ， ， ＸＵＥＤｏｎｌｉｎ ＺＨＡＮＧＺｈｏｎｕ Ｚ