紫外纳秒激光诱导前向转移技术与应用分析-analysis of ultraviolet nanosecond laser-induced forward transfer technology and its application.docxVIP

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2018-09-08 发布于上海
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紫外纳秒激光诱导前向转移技术与应用分析-analysis of ultraviolet nanosecond laser-induced forward transfer technology and its application.docx

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紫外纳秒激光诱导前向转移技术与应用分析-analysis of ultraviolet nanosecond laser-induced forward transfer technology and its application

controller) used as the core of motion control in the system, and formed the “PC+PMAC” structure. Under the Windows XP development environment, PC software interface was designed by the development tool Visual C++6.0, which could manage and control the laser machining process. 3. Three kinds of thickness copper thin films were coated by vacuum magnetron sputtering coating technology. With copper thin film as donor film and silicon wafer as accept substrate, experiments of copper film LIFT were done. The influence of different processing parameters (such as laser energy, pulse number, transfer space, film thickness) on the transfer effect were studied and the results were analyzed. KEY WORDS：Laser-induced forward transfer, Ultraviolet nanosecond pulsed laser, PMAC, Metal thin film, Energy threshold 目录 HYPERLINK \l _bookmark0 目录 4 HYPERLINK \l _bookmark1 第一章绪论 1 HYPERLINK \l _bookmark2 1.1 激光诱导前向转移技术（LIFT）的研究背景 1 HYPERLINK \l _bookmark3 1.2 LIFT 的研究进展 3 HYPERLINK \l _bookmark4 1.3 课题研究的意义和主要内容 11 HYPERLINK \l _bookmark5 第二章纳秒脉冲激光与金属材料作用机理的研究 13 HYPERLINK \l _bookmark6 2.1 激光与材料相互作用过程 13 HYPERLINK \l _bookmark7 2.2 金属的烧蚀阈值 14 HYPERLINK \l _bookmark8 2.2.1 单脉冲烧蚀阈值 15 HYPERLINK \l _bookmark9 2.2.2 多脉冲烧蚀阈值 15 HYPERLINK \l _bookmark10 2.3 金属的刻蚀深度 17 HYPERLINK \l _bookmark11 2.3.1 单脉冲刻蚀深度 17 HYPERLINK \l _bookmark12 2.3.2 多脉冲刻蚀深度 18 HYPERLINK \l _bookmark13 2.4 数值计算结果 19 HYPERLINK \l _bookmark14 2.4.1 烧蚀阈值与脉冲数目的关系 20 HYPERLINK \l _bookmark15 2.4.2 单脉冲刻蚀深度与激光能量的计算 21 HYPERLINK \l _bookmark16 第三章紫外纳秒激光诱导薄膜转移实验系统的总体设计 22 HYPERLINK \l _bookmark17 3.1 紫外纳秒脉冲激光器 22 HYPERLINK \l _bookmark18 3.2 光路机械结构 24 HYPERLINK \l _bookmark19 3.3 三维移动平台系统 26 HYPERLINK \l _bookmark20 3.4 基于 PMAC 的运动控制系统 28 HYPERLINK \l _bookmark21 3.4.1 PMAC 运动控制卡的功能和特点 29 HYPERLINK \l _bookmark22 3.4.2 基于 PMAC 的运动控制系统的设计 31 HYPERLINK \l _bookmark23 3.5 辅助加工部分 35 HYPERLINK \l _bookmark24 第四章紫外纳秒激光诱导铜薄膜前向转移实验研究 36 HYPERLINK \l _bookmark25 4.1 190nm 厚铜薄膜的 ns-LI