轮廓单元平均宽度PL图像分析.pdfVIP

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2018-10-27 发布于中国
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轮廓单元平均宽度PL图像分析.pdf

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用粗糙度的概念来处理硅片PL图像 灰度图像与粗糙度分析 粗糙度的3D评定 PL灰度图像处理的类似性 Jacky 2012‐03‐14 灰度图像与粗糙度分析硅片表面的粗糙度三维评定系统，可以通过CCD对与图像采集卡获得一幅不同灰度分布、明暗相间、凸凹明显的数字图像。图像上的灰度与形状特征的差异正好体现了粗糙度的不同（实际要考虑光源等因素）。注：虽然原文是对某铸造表面成像，不过这跟硅片的情况类似。可以建立灰度值和表面轮廓的相关性，这里不是我们讨论的重点。 粗糙度的3D评定粗糙度的3D评定主要如下有17个参数：注：内容比较多，请参考附件文献【2】P58‐65 。 PL灰度图像处理的类似性是否可以将PL的灰度图像数字化后，通过已有的粗糙度的参数来进行评价？轮廓单元的平均宽度：先考虑二维的情况，定义如下 GB/T 3505‐2000 这里选择取样长度为Ln=10mm，下图对应的Xs 相差一倍，其对应的区域存在明显差异 Xs(轮廓单元平均宽度=6.5*0.156mm=1.014mm 20 10 0 1 4 7 10 13 16 19 22 25 28 31 34 37 40 43 46 49 52 55 58 61 64 ‐10 ‐20 ‐30 ‐40 ‐50 ‐60 ‐70 Xs(轮廓单元平均宽度=3.82*0.156mm=0.60mm 30 20 10 0 1 4 7 10 13 16 19 22 25 28 31 34 37 40 43 46 49 52 55 58 61 64 ‐10 ‐20