一种具有纳米定位精度的四自由度微动平台的研制Ξ-机器人-中国.PDF

第 卷第 期 机器人 ΡΟΒΟΤ ∂ 年 月 文章编号222 一种具有纳米定位精度的四自由度微动平台的研制Ξ 张江波 朱涛 王越超 谈大龙 中国科学院沈阳自动化所机器人学实验室 沈阳 中国科学院研究生院 摘 要 本文介绍了采用压电陶瓷管作为驱动器的四自由度微型移动平台的结构设计 运动机理 并对系统的 ! 动态特性进行了分析和探讨 最后对纳米微动平台在不同负载 不同材质介面上进行了试验 并给出了试验结果 该 ! 平台具有移动范围广 控制简单 步距可调 具有较大负载支撑能力等特点 经实验证明 本系统所采用的移动机理 ! ! ! 是可行的 关键词 微机器人 压电陶瓷微驱动 微装配 微操作 中图分类号 ×° 文献标识码 4− ΔΕςΕΛΟΠΜΕΝΤΟΦΑ ΔΟΦΜΟΒΙΛΕ ΠΛΑΤΦΟΡΜ ΩΙΤΗ ΝΑΝΟΜΕΤΕΡ ΡΕΣΟΛΥΤΙΟΝ 2 2 2 × • ≠∏ ×⁄ ΡοβοτιχσΛαβ Σηενψανγ Ινστιτυτεοφ Αυτοματιον ΧηινεσεΑχαδεμψοφ Σχιενχεσ Σηενψανγ ΠοστγραδυατεΣχηοολ ΧηινεσεΑχαδεμψοφ Σχιενχε 2 Αβστραχτ ∏∏ ×∏∏∏∏√ √∏∏ . ∏¬√√√ Κεψωορδσ ∏ ∏ 1 引言Ιντροδυχτιον 上提出了桌面微装配系统!微工厂等概念≈ 本文主要介绍了一种新型的四自由度纳米微动 适用于微小系统的 基于微机器人的自动化装