（毕业设计论文）《等离子体增强化学气相沉积PEVCD的研究现状》.docVIP

毕业论文 PAGE PAGE 1 太阳能光电工程学院 《材料加工设备概论》 课程设计报告书 题 目： 等离子体增强化学气相沉积PEVCD的研究现状 姓 名： 专 业： 光伏材料加工与应用技术 班 级： 09级光伏材料助考班 指导教师： 摘 要 本设计主要阐述了等离子体增强化学气相沉积PECVD的基本原理，什么叫PECVD以及在太阳能电池片制作过程中的研究现状 关键词： 等离子 化学气相沉积 基本原理 PECVD 研究现状 目 录 TOC \o 1-4 \h \u HYPERLINK \l _Toc16394 绪 言 PAGEREF _Toc16394 3 HYPERLINK \l _Toc20415 1 　等离子体概论 PAGEREF _Toc20415 4 HYPERLINK \l _Toc16625 1.1 等离子体的基本概念和性质 PAGEREF _Toc16625 4 HYPERLINK \l _Toc29596 1.2 等离子体的特性参数描述 PAGEREF _Toc29596 5 HYPERLINK \l _Toc21322 1.2.1粒子密度和电离度 PAGEREF _Toc21322 6 HYPERLINK \l _Toc28127 1.2.2 电子温度和粒子温度 PAGEREF _Toc28127 6 HYPERLINK \l _Toc20276 1.3 等离子体的产生方法和原理 PAGEREF _Toc20276 7 HYPERLINK \l _Toc15912 2 辉光放电等离子体的物理基础 PAGEREF _Toc15912 8 HYPERLINK \l _Toc1503 2.1 辉光放电装置 PAGEREF _Toc1503 8 HYPERLINK \l _Toc18612 2．2 辉光放电原理 PAGEREF _Toc18612 10 3 HYPERLINK \l _Toc27449 等离子体增强化学气相沉积技术 PAGEREF _Toc27449 11 HYPERLINK \l _Toc22480 3.1 等离子体增强化学气相沉积的主要过程 PAGEREF _Toc22480 11 HYPERLINK \l _Toc5642 3.2 等离子体内的化学反应 PAGEREF _Toc5642 12 HYPERLINK \l _Toc3596 3.3 生长表面的成膜反应 PAGEREF _Toc3596 14 HYPERLINK \l _Toc4581 参考文献 PAGEREF _Toc4581 18 绪 言 本设计概要地描述了等离子体的基本概念、性质以及描述等离子体的主要参数；阐述了常用于薄膜制备的辉光放电方法产生低温等离子体的试验装置和物理原理；以硅烷等离子体技术沉积硅薄膜为例，较为系统地分析了等离子体增强化学气相沉积的主要过程、等离子体内的化学反应以及薄膜生长表面的成膜反应。 1 　等离子体概论 1.1 等离子体的基本概念和性质 近代科学研究的结果表明，物质除了具有固态、液态和气态的这三种早为人们熟悉的形态之外，在一定的条件下，还可能具有更高能量的第四种形态——等离子体状态。例如通过加热、放电等手段，使气体分子离解和电离，当电离产生的带电粒子密度达到一定的数值时，物质的状态将发生新的变化，这时的电离气体已经不再是原来的普通气体了。由于这种电离气体不管是部分电离还是完全电离，其中的正电荷总数始终和负电荷总数在数值上是相等的，于是人们将这种由电子、离子、原子、分子或者自由基团等粒子组成的电离气体称之为等离子体[ 1]。 不管在组成上还是在性质上，等离子体不同于普通的气体。普通气体由电中性的分子或原子组成，而等离子体则是带电粒子和中性粒子的集合体。等离子体和普通气体在性质上更是存在本质的区别，首先，等离子体是一种导电流体，但是又能在与气体体积相比拟的宏观尺度内维持电中性；其次，气体分子间不存在净电磁力，而等离子体中的带电粒子之间存在库仑力；再者，作为一个带电粒子体系，等离子体的运动行为会受到电磁场的影响和支配。因此，等离子体是完全不同于普通气体的一种新的物质聚集态。 应当指出，并非任何的电离气体都是等离子体。众所周知，只要绝对温度不为零，任何气体中总存在有少量的分子和原子电离。严格地说来，只有当带电粒子地密度足够大，能够达到其建