分子泵原理能源化工工程科技专业资料.pptVIP

* 对于分子泵的转子部分全部由涡轮叶片组成的份子泵，即定义为涡轮分子泵。 其涡轮部分是由一整快金属材料经数控机床加工而成。 * 牵引 分 子 泵 简称：MDP。 转子特性：多头螺纹沟道状。 * 复合分子泵 简称：CMP——compound molecular pump. 转子特性:涡轮分子泵与牵引泵的组合。 * 磁悬浮分子泵：泵的转动轴承以磁悬浮形式为主。当泵的主体通电后，首先是轴承部产生磁悬浮力，将泵的转子浮起。而后是转子部的回旋加速，直至额定转速。此类泵不需要做定期的维护保养。只要保持泵的运行环境稳定，可长期使用。 机械轴承分子泵：泵的转动轴承以陶瓷轴承为主。当泵的主体通电后，转子部即开始回旋加速，直至额定转速。此类泵因使用环境的不同，需要按一定的周期做维护保养，主要维护内容是轴承部的guease up和轴承的更换等。 * * * 本图取至于PHO装置的EBARA—ET1600分子泵。各部分功能 如下： 1.主轴——带动整个分子泵的转子旋转。 2.动片——分子泵转子上的叶片。 3.静片——通过静片固定环固定在两层动片之间，不 随动片转 动的叶片。 4.外壳——泵的压力保持圈。 5.辅助轴承——在分子泵中也称假轴承。通常每个分子泵的主 轴