高熵合金氮化物薄膜被覆於超硬刀具表面制程之微结构与切削.PDFVIP

高熵合金氮化物薄膜被覆於超硬刀具表面製程之微結構與切削性 研究 張子欽 宋寰欣 林奕辰 陳威吉 國立勤益科技大學機械工程學系 摘要 (Magnetron Sputtering System)使用，其靶材將以 X 近年來，由於 3C 產品如印刷電路板等，為避 光繞射儀鑑定結構後，再與濺鍍後薄膜作比對分 免產品上的精密電路遭受污染，因此無法於產品加 析。分析TiVCrZrAlZr 薄膜之物理及化學性質並探 工時添加切削液降低刀工具及工件溫度，導致在高 討機械性質、熱氧化行為與微結構之關係， 深入探 速切削、重切削及工件溫度攀昇極快的加工環境 討其合金薄膜的特性，再分別以反應沉積氮化物和 下，易產生高溫而致使刀工具加速磨耗，降低其使 氧化物薄膜，進而在氬氣、氧氣及空氣氣氛下做後 用壽命，因而提高生產成本。為因應上述高速加工 熱處理，了解其薄膜隨溫度之物理