纳米科技导论2-检测技术-修改稿.pptVIP

（三）、原子力显微镜 AFM: Atomic Force Microscope SEM 、STM不能测量绝缘体表面的形貌。 1986年，Binning、Quate 和Gerber等人提出原子力显微镜的概念，在斯坦福大学发明了第一台原子力显微镜，分辨率高，而且可测量绝缘体。 Scanning Probe Microscope 扫描探针显微镜简称SPM，它不采用物镜来成像，而是利用尖锐的传感器探针在表面上方扫描来检测样品表面的一些性质如表面原子力，表面的弹性、塑性、硬度、黏着力、摩擦力等。 不同类型的SPM主要是针尖特性及其相应针尖－样品间相互作用的不同，包括： 扫描探针显微镜（STM) 原子力显微镜（AFM) 摩擦力显微镜（LFM) 磁力显微镜（MFM) 扫描近场光学显微镜（SNOM) 弹道电子发射显微镜（BEEM) 缺点： 缺乏统计性，立体感差，制样难，不能观察活体，可观察范围小，从几个微米到几个埃。 [1] 取样时样品少，可能不具代表性。 [2] 铜网捞取的样品少。 [3] 观察范围小，铜网几平方毫米就是1012平方纳米。 [4] 粒子团聚严重时，观察不到粒子真实尺寸。 **** 二、 扫描电子显微镜（Scanning electron microscope，SEM） 二次电子——从距样品表面l00?左右深度范围内激发出来的低能电子。50eV，与原子序数没有明显关系，对表面几何形状敏感。 secondary electrons 背散射电子——从距样品表面0.1—1μm深度范围内散射回来的入射电子，其能量近似入射电子能量。背散射电子产额随原子序数的增加而增加。 backscattered electron Secondary Electrons (SE) Incident Electron Secondary Electron Backscattered Electrons (BE) Incident Electron Backscattered Electron 入射电子激发试样内各种信号的发射范围不同，因此各种信号成像的分辨本领不同(如下表)。 信号 分辨率(nm) 发射深度(nm) 二次电子 5~10 5~50 背散射电子 50~200 100~1000 吸收电子 100~1000 透射电子 0.5~10 感应电动势 300~1000 阴极荧光 300~1000 X射线 100~1000 500~5000 俄歇电子 5~10 0.5~2 背散射电子 二次电子像与背散射电子像对比 二次电子 SEM分析样品的优缺点 优点： 1)仪器分辨本领较高，通过二次电子像能够观察试样表面30 ?左右的细节。 2) 放大倍数变化范围大(一般为l0—800000倍)，且能近续可调。 3)观察试样的景深大，图像富有立体感。可用于观察粗糙表面，如金属断口、催化剂等。 4)样品制备简单。 缺点： 不导电的样品需喷金(Pt、Au)处理，价格高，分辨率比TEM低。 三、 扫描隧道显微镜(STM)和原子力显微镜(AFM) （一）、量子隧道效应 在经典力学中，当势垒的高度比粒子的能量大时，粒子是无法越过势垒的。 量子力学中，粒子穿过势垒出现在势垒另一侧的几率并不为零，这种现象称为隧道效应。 隧道效应是微观粒子(如电子、质子和中子)波动性的一种表现。 一般情况下，只有当势垒宽度与微观粒子的德布罗意波长可比拟时，才可以观测到显著的隧道效应。 1973年，江崎、加埃沃、约瑟夫森获诺贝尔物理奖。 1958年江崎宣布发明了隧道二极管； 1960年加埃沃实验证明单电子隧道效应； 1962年约瑟夫森(22岁)提出双电子隧道效应。 须强调的是：隧穿过程遵从能量守恒和动量〔或准动量〕守恒定律。 （二）、扫描隧道显微镜 STM Scanning Tunneling Microscope 1972年，Young检测金属探针和表面之间的电子场发射流来探测物体表面：针尖与样品间距20 nm，横向分辨率400 nm。 1981年，美国IBM司G.Binning和H.Rohrer发明了STM，针尖与样品间距1 nm，横向分辨率0.4 nm。这是目前为止能进行表面分析的最精密仪器，既可观察到原子，又可直接搬动原子。 横向分辨率可达到0.1 nm，纵向分辨率可达到0.01 nm。它对原子的检测深度1－2个原子层，对样品无破坏。两位博士因此获得1986年诺贝尔物理奖。 世界上第一台扫描隧道显微镜(STM) Scanning Tunneling Microscope STM的理论基础是隧道效应。 对于一种金属－绝缘体－金属(MIM)结构，当绝缘层足够薄时，就可以发生隧道效应。隧道电流I是电极距离和所包含的电子态的函数。 工作时，首先在被观察样品和针尖之