谐衍射透镜成像特性研究--毕业论文设计.doc

清华大学2012届毕业论文 第 PAGE \* ROMAN \* MERGEFORMAT II页 共Ⅱ页 目 录 TOC \o 1-3 \h \z \u HYPERLINK \l _Toc328553912 目 录 PAGEREF _Toc328553912 \h 1 HYPERLINK \l _Toc328553913 1 绪论 PAGEREF _Toc328553913 \h 1 HYPERLINK \l _Toc328553914 1.1衍射光学的发展现状 PAGEREF _Toc328553914 \h 1 HYPERLINK \l _Toc328553915 1.2国内外发展现状 PAGEREF _Toc328553915 \h 3 HYPERLINK \l _Toc328553916 1.3主要进展 PAGEREF _Toc328553916 \h 3 HYPERLINK \l _Toc328553917 1.3.1设计理论方面的进展 PAGEREF _Toc328553917 \h 3 HYPERLINK \l _Toc328553918 1.3.2制作工艺方面的进展 PAGEREF _Toc328553918 \h 3 HYPERLINK \l _Toc328553919 1.3.3应用方面的发展 PAGEREF _Toc328553919 \h 4 HYPERLINK \l _Toc328553920 1.4发展趋势 PAGEREF _Toc328553920 \h 4 HYPERLINK \l _Toc328553921 1.5微细加工简介 PAGEREF _Toc328553921 \h 4 HYPERLINK \l _Toc328553922 1.5.1.光刻及干法、湿法刻蚀 PAGEREF _Toc328553922 \h 4 HYPERLINK \l _Toc328553923 1.5.2.激光直写技术 PAGEREF _Toc328553923 \h 5 HYPERLINK \l _Toc328553924 1.5.3.超精密金刚石切削技术 PAGEREF _Toc328553924 \h 6 HYPERLINK \l _Toc328553925 1.5.4.注模技术 PAGEREF _Toc328553925 \h 7 HYPERLINK \l _Toc328553926 1.6混合光学系统 PAGEREF _Toc328553926 \h 8 HYPERLINK \l _Toc328553927 1.7谐衍射概念 PAGEREF _Toc328553927 \h 9 HYPERLINK \l _Toc328553928 1.8谐衍射的物理意义与应用前景 PAGEREF _Toc328553928 \h 11 HYPERLINK \l _Toc328553929 2衍射光学的基础理论 PAGEREF _Toc328553929 \h 12 HYPERLINK \l _Toc328553930 2.1衍射光学的基础理论 PAGEREF _Toc328553930 \h 12 HYPERLINK \l _Toc328553931 2.2光场传播理论 PAGEREF _Toc328553931 \h 13 HYPERLINK \l _Toc328553932 2.3衍射光学元件的傅里叶分析（角谱理论） PAGEREF _Toc328553932 \h 16 HYPERLINK \l _Toc328553933 2.4谐衍射光学元件的特性分析 PAGEREF _Toc328553933 \h 17 HYPERLINK \l _Toc328553934 2.5二元光学衍射元件的衍射效率的分析 PAGEREF _Toc328553934 \h 20 HYPERLINK \l _Toc328553935 2.6衍射光学元件的色散分析 PAGEREF _Toc328553935 \h 24 HYPERLINK \l _Toc328553936 2.7单片谐衍射光学元件的设计理论 PAGEREF _Toc328553936 \h 27 HYPERLINK \l _Toc328553937 3 谐衍射混合光学系统的设计 PAGEREF _Toc328553937 \h 30 HYPERLINK \l _Toc328553938 3.1未优化前的光学系统 PAGEREF _Toc328553938 \h 30 HYPERLINK \l _Toc328553939 3.2优化后的光学系统 PAGER