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XPS测试样品准备及谱图处理 吴正龙吴正龙 北京师范大学分析测试中心 前前 言言 • 电子能谱测量固体样品表面电子能谱测量固体样品表面，原样分析原样分析， 不消解样品； • 电子能谱制样简单，但并等于无需制样 •• 样品准备是电子能谱实验重要的环节样品准备是电子能谱实验重要的环节，影影 响谱图质量，甚至决定实验的成败 – 了解样品了解样品 – 了解仪器 – 需要需要一定经验方法的积累定经验方法的积累 – …… 前前 言言 • 谱图处谱图处理 – 根据实验结果根据实验结果、实验目的进行实验目的进行 – 结合样品、仪器实验目的给出合理的谱图处理 结果结果 – 需要了解基础理论和方法，了解样品和仪器 • Avtange具有强大的谱图处理功能具有强大的谱图处理功能 – …… 实验流程实验流程 • 实验实验 – 硬件条件：仪器功能和结构 – 制样、装样、进样 – 实验方案制定 – 实验测量参数设置 – 实验操作 • 实验结果 – 数据处理 – 优化实验 – 实实验结果报告告 电子能谱仪器功能和结构电子能谱仪器功能和结构 • 了解所用仪器的功能和结构，发挥仪器的 功效 • 了解实验过程 能量分析器 光电子传输 光路光路 电子中和系统电子中和系统 X‐rayy 离子枪离子枪 样品停样品停 放台 Video摄像 进样舱门 磁透镜 样品台样品台 （（样品台下方样品台下方）） ESCALAB 250Xi 电子能谱仪器 光电子光电子ee，，信号电子信号电子 X‐ray hv 中和电子e 刻蚀离子i Video摄像头 样品 测试区域 所有射线束光路要求共点、共焦于测试区域！ 图一般XPS分析中光电子激发和光电子采集示意图 了解各部件的位置了解各部件的位置，几何方位几何方位 与样品制备有关部件与样品制备有关部件 • 样品台样品台及配件件 • 加热台加热台、、冷冻台冷冻台、、蒸发器蒸发器、、高压反应池高压反应池 • 断裂台、刮削器 • 手套箱 • 原位制样原位制样 • …… 样品制备方法标准样品制备方法标准 • ASTM – Surf.