传感器原理及应用方向-第6章.ppt

第六章 6.1 压电效应 6.2 压电材料 6.3 压电式传感器等效电路 6.4 压电式传感器测量电路 6.5 压电式传感器应用 一、压电效应的基本概念 一、压电效应的基本概念 一、压电效应的基本概念 二、压电效应的基本原理 二、压电效应的基本原理 二、压电效应的基本原理 二、压电效应的基本原理 二、压电效应的基本原理 二、压电效应的基本原理 二、压电效应的基本原理 二、压电效应的基本原理 二、压电效应的基本原理 二、压电效应的基本原理 二、压电效应的基本原理 二、压电效应的基本原理 二、压电效应的基本原理 二、压电效应的基本原理 二、压电效应的基本原理 二、压电效应的基本原理 二、压电效应的基本原理 二、压电效应的基本原理 二、压电效应的基本原理 6.1 压电效应 6.2 压电材料 6.3 压电式传感器等效电路 6.4 压电式传感器测量电路 6.5 压电式传感器应用 一、压电材料应具备主要特性 二、石英晶体 三、压电陶瓷 四、新型压电材料 四、新型压电材料 6.1 压电效应 6.2 压电材料 6.3 压电式传感器等效电路 6.4 压电式传感器测量电路 6.5 压电式传感器应用 一、压电式传感器的测量特性 一、压电式传感器的测量特性 二、压电元件的连接方式 二、压电元件的连接方式 二、压电元件的连接方式 三、压电式传感器的等效电路 三、压电式传感器的等效电路 三、压电式传感器的等效电路 6.1 压电效应 6.2 压电材料 6.3 压电式传感器等效电路 6.4 压电式传感器测量电路 6.5 压电式传感器应用 一、电压放大器（阻抗变换器） 一、电压放大器（阻抗变换器） 一、电压放大器（阻抗变换器） 一、电压放大器（阻抗变换器） 一、电压放大器（阻抗变换器） 二、电荷放大器 二、电荷放大器 6.1 压电效应 6.2 压电材料 6.3 压电式传感器等效电路 6.4 压电式传感器测量电路 6.5 压电式传感器应用 质 量 块 6.1 压电效应 6.2 压电材料 6.3 压电式传感器等效电路 6.4 压电式传感器测量电路 6.5 压电式传感器应用 第六章 第六章结束 §6.5 压电式传感器应用 10、压电式动态力传感器 在体育动态测量中应用。 压电式步态分析跑台 压电式纵跳分析装置 在车床中动态切削力测量中应用。 第六章 压电式传感器 作 业 第二版教材113页： 练习题：6-1，6-4，6-5第三版教材111页： 练习题：6-1，6-4，6-5 谢谢合作！ 石英晶体的两种类型： 天然和人工培养。人工培养的石英晶体的物理和化学性质几乎与天然石英晶体没有区别，因此目前广泛应用成本较低的人造石英晶体。 §6.2 压电材料 天然 人造 晶片 石英是一种各向异性晶体： 按不同方向切割的晶片，其物理性质（如弹性、压电效应、温度特性等）相差很大。 在设计石英传感器时，应根据不同使用要求正确地选择石英片的切型。 压电陶瓷主要有钛酸钡压电陶瓷、锆钛酸铅系压电陶瓷等。 （1）钛酸钡压电陶瓷 钛酸钡（BaTiO3）是由碳酸钡（BaCO3）和二氧化钛（TiO2）按1:1分子比例在高温下合成的压电陶瓷。 优点：介电常数和压电系数大（约为石英晶体的50倍）。 缺点：居里点温度低（120℃），温度稳定性和机械强度不如石英晶体。 §6.2 压电材料 （2）锆钛酸铅系压电陶瓷 锆钛酸铅（PZT）是由PbTiO3和PbZrO3组成的固溶体Pb（Zr、Ti）O3。与钛酸钡相比，压电系数更大，居里点温度在300℃以上，各项机电参数受温度影响小，时间稳定性好。 在锆钛酸中添加一种或两种其它微量元素（如铌、锑、锡、锰、钨等）还可获得不同性能的PZT材料。 锆钛酸铅系压电陶瓷是目前压电式传感器中应用最广泛的压电材料。 压电半导体材料有ZnO、CdS、CdTe等，这种力敏器件具有灵敏度高，响应时间短等优点。 用ZnO作为表面声波振荡器的压电材料，可检测力和温度等参数。 §6.2 压电材料 1、压电半导体材料 某些合成高分子聚合物薄膜经延展拉伸和电场极化后，具有一定的压电性能，这类薄膜称为高分子压电薄膜，有聚二氟乙烯PVF2、聚氟乙烯PVF、聚氯乙烯PVC等。 2、高分子压电材料 高分子压电材料是一种柔软的压电材料，不易破碎，可大量生产和制成较大的面积。 高分子压电薄膜拉制 §6.2 压电材料 高分子压电材料特点： 柔软；抗拉强度高；电阻大、击穿强度高；稳定性好。 高分子化合物参杂压电陶瓷粉末，两者优点合一。 高分子压电材料应用： 大面积阵列传感器、人工皮肤。 2、高分子压电材料 高分子压电薄膜制作的压电喇叭（逆压电效应） 高分子压电薄膜压电式脚踏开关 高分子压电薄膜和电缆 第六章 压电式传感器 压电式传感器基本