第9课时新型光电传感器.pptVIP

透射式开关调制 入射、接收光纤固定不动，当光纤端面有物体运动时，出射光纤的光强变化。 遮光屏物与其它敏感元件相连，如膨胀元件。 入射 光源S 出射 透镜 接收D 弹性薄膜 P 光调制实现气压测量 透镜 透射式光栅调制 一个固定、一个移动，当光栅作相对运动时，通过光栅间的光强会发生变化。 设栅距、栅宽5μm，当动栅相对位移10μm时，光强变化一个周期. 静光栅 动 %相对强度 X相对位移 2.5 5 7.5 光栅调制实现压力测量 μm 反射式强度调制 由多根光纤束组成入射、接收光纤，被测物体将光束反射回光纤，经反向传输后由光敏器件接收。光强的大小随被测物体的特征不同而不同。 特征包括： 被测物体与光纤端面的距离； 被测物体表面的光洁度（反射率）； 相对倾角。 特点：非接触、探头小、线性度好、 频响高、测量范围在100μm以内。 X 入射 光 源 S 出射 透镜 接 收 D 被测物体 液 面 测 量 一般压力、张力、温度可以改变光纤的长度（几何尺寸）； 同时由于光弹效应，光纤折射率n 也会由于应变而改变，这些物理量可以使光纤输出端产生相位变化。 借助干涉仪将相位变化转换为光强的变化。 干涉系统的种类很多 (2) 相位调制 马赫——泽德干涉仪原理 常见的马赫——泽德 （Mach-Zehnde) ⑷ 相位调制 固定平面镜静止，移动平面镜随被测体运动； 分束