太阳能级硅片厚度及总厚度变化测试方法.doc

ICS FORMTEXT 29.045 H 17 FORMTEXT 中华人民共和国国家标准 GB/T FORMTEXT XXXXX— FORMTEXT XXXX FORMTEXT FORMTEXT 太阳能级硅片厚度及总厚度变化测试方法 FORMTEXT Test Method for Thickness and Total Thickness Variation of Solar Wafer FORMTEXT FORMDROPDOWN FORMTEXT FORMTEXT XXXX - FORMTEXT XX - FORMTEXT XX发布 FORMTEXT XXXX - FORMTEXT XX - FORMTEXT XX实施 GB/T XXXXX— PAGE \* MERGEFORMAT 7 前言 本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会（SAC/TC203/SC2）归口。 本标准由东方电气集团峨嵋半导体材料有限公司起草。 本标准主要起草人： 太阳能级硅片厚度及总厚度变化测试方法 范围 本检测方法规定太阳能级硅片厚度及总厚度变化分立式和扫描式测量方法，为非接触式测量方法，适用于测量大于等于100mm×100mm的硅方片。 本标准规定了硅片的测量装置