微电流高效率650nm谐振腔发光二极管.PDF

第 卷第 期 光 子 学 报 47 7 Vol.47No.7 年 月 2018 7 Jul2018 ACTAPHOTONICASINICA y : / doi10.3788 zx0723001 g 微电流高效率 650nm谐振腔发光二极管 , , , , , 王元诚 李建军 王海阔 王梦欢 袁泽旭 邹德恕 ( , , ) 北京工业大学 信息学部电子科学与技术学院 光电子技术教育部重点实验室 北京 100124 : , 摘 要 基于微腔理论和薄膜光学传输矩阵模型 设计并制备了孔径不同的谐振腔发光二极管 通过对 . , 、 外延结构的设计和对器件的制备与测试 详细研究了微腔结构 腔谱失谐以及有效辐射面积对器件发光 、 , 效率 峰值波长和半波全宽等性能的影响 最终降低了器件的启亮电流并且提升了器件的外量子效率. , 制备的器件能够在 100 A偏置电流下产生肉眼清晰可见的微瓦级光强 在 1mA电流下达到0.16mW μ , 的光功率和 的外量子效率 器件的峰值波长为 并且在 范围内不随电流改变而发 7% . 650nm 0.1~7mA , , 生变化 远场分布为均匀对称的圆形光斑 水平和竖直发散角分别为 和 与普通发光二极管相比 . 46° 48°. 、 、 , 该器件具有更高的发光效率和更好的单色性 方向性 波长稳定性 研究成果为实现微小电流驱动的高 , 亮度发光器件提供了基础元件 并为谐振腔发光二极管在微电流下的光电特性研究提供参考与借鉴. : ; ; ; ; 关键词 谐振腔发光二极管 微电流 高效率 腔谱失谐 光子回收效应 中图分类号: ; 文献标识码: 文章编号: ( ) O431.2O432.1 A 1004-4213201807-0723001-7 MicroCurrentHihEfficienc650nmResonantCavitLihtEmittin Diode