原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
查看更多
快速稳定的白光干涉测量法
激光与光电子学进展
, ( ) « »
５４ ０５１２０３２０１７ C２０１７ 中国激光 杂志社
LaserOtoelectronicsProress ○
p g
快速稳定的白光干涉测量法
, , ,
董一帆 万新军 孟 涵 解树平
,
上海理工大学光电信息与计算机工程学院 上海 ２０００９３
, , .
摘要 为了减少白光干涉法的采样数据和计算成本 提高测量速度 提出了一种快速稳定的白光干涉测量方法
, ,
根据白光干涉显微镜模型 对光学干涉法的数学模型进行了推导分析 确定了干涉光强函数与包络函数之间的关
. , ,
系 在此基础上 提出利用加大采样间隔的离散采样点的希尔伯特变换函数提取干涉信号包络算法 并基于采样
. .
原理分析确定了符合算法的采样间隔条件 通过仿真实验对该算法的有效性进行了验证 实际样品的白光干涉
( ) , , ,
光强信号存在直流 DC偏置噪声 影响快速白光干涉测量法的稳定性 因此采用中值滤波法消除背景噪声 分析滤
. ,
波后干涉光强包络的质量 通过白光干涉显微镜装置进行了实际样品白光干涉图像采集 并对不同倍率采样间隔重
. , ,
构的三维表面形貌图进行比较 结果表明 该快速算法重构三维形貌的速度相比传统方法提高了 倍 同时增强了
２０
稳定性.
; ; ; ; ;
关键词 测量 白光干涉法 三维表面形貌 希尔伯特变换 采样间隔 噪声滤波
中图分类号 TH７４４ 文献标识码 A
: /
doi１０．３７８８LOP５４．０５１２０３
FastandStableWhiteLihtInterferometr
g y
Don Yifan WanXinun Men Han XieShuin
g j g p g
SchooloOti
文档评论（0）