LCOS投影PBS分束器膜系设计.docxVIP

１００２０１－０１５３－０６ＬＣ １００２０１－０１５３－０６ ＬＣＯＳ 投影 ＰＢＳ 分束器膜系设计 甄，郝怀庆 于 （南昌欧菲光科技有限公司 光学薄膜 Ｒ＆Ｄ 研发中心，江西 南昌 ３３００１３） 要：给出了一种全新的膜系设计方法，该方法与目前常用的偏振分束器 ＰＢＳ 分光镜所采用 摘 的多组膜堆周期膜系的设计方法有着本质上的区别。 全新的 ＰＢＳ 膜系的设计引入一种有序对 偶递变方法，它是基于周期性有序地变换成递变非周期性设计，目的是扰动针对４５°入射布鲁斯 特角的敏感。 采用了两种折射率材料光学厚度的递变，在 ＳＦ７５ 系列玻璃棱镜内部入射光能满 足４５°角±（５°～６°）变化、Ｐ 偏振态的透射率平均不低于７０％ 、Ｓ 偏振态的反射率不高于９９．６％ 的光学特征指标，而且偏振截止带的带宽可以扩展到４００ｎｍ～７００ｎｍ。 简化了工艺难度，大幅 度缩减镀膜时间，降低了投影显示器件制造成本，并提高了光学特征指标。 关键词：偏振分束器；布鲁斯特角；对偶递变；有序递变厚度 中图分类号：ＴＮ３０５．８ 文献标志码：Ａ ｄｏｉ：１０．５７６８／ＪＡＯ２０１２３３．０１０５００１ Ｎｅｗ ＰＢＳ ｍｕｌｔｉｌａｙｅｒｄｅｓｉｇｎｆｏｒＬＣＯＳｐｒｏｊｅｃｔｏｒ ＹＵ Ｚｈｅｎ，ＨＡＯ Ｈｕａｉ－ｑｉｎｇ （ＮａｎｃｈａｎｇＯ－Ｆｉｌｍ Ｔｅｃｈ．Ｃｏ．，Ｌｔｄ．，Ｎａｎｃｈａｎｇ３３００１３，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ａｎｅｗｏｐｔｉｃａｌｍｕｌｔｉｌａｙｅｒｄｅｓｉｇｎｆｏｒ４５°ｉｎｃｉｄｅｎｃｅａｎｇｌｅｏｎＰＢＳｍｉｒｒｏｒｉｓｉｎｔｒｏｄｕｃｅｄ． Ｃｏｍｐａｒｅｄｗｉｔｈｔｈｅｔｒａｄｉｔｉｏｎａｌｍｅｔｈｏｄｏｆｔｈｒｅｅｓｔｏｃｋｓｐｅｒｉｏｄｉｃ ｍｕｌｔｉｌａｙｅｒｄｅｓｉｇｎｏｎＰＢＳ ｍｉｒ－ ｒｏｒ，ｔｈｅｎｅｗ ｍｅｔｈｏｄｉｓｄｉｆｆｅｒｅｎｔｉｎｂａｓｉｃｐｒｉｎｃｉｐｌｅｓ，ｗｈｉｃｈｉｓｃａｌｌｅｄａｓｎｏｎ－ｐｅｒｉｏｄｉｃｇｒａｄｉｅｎｔ ｍｕｌｔｉｌａｙｅｒｍｅｔｈｏｄ．Ｉｔｉｓｂａｓｅｄｏｎｔｈｅｃｏｎｃｅｐｔｏｆｃｈａｎｇｉｎｇｔｈｅｌａｙｅｒｓｆｒｏｍｐｅｒｉｏｄｔｏｎｏｎ－ｐｅｒｉｏｄ ｏｒｄｅｒｌｙ．ＴｈｅｐｕｒｐｏｓｅｉｓｔｏｉｎｆｌｕｅｎｃｅＢｒｅｗｓｔｅｒａｎｇｌｅｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｙｅｆｆｅｃｔｏｎＰＢＳｍｉｒｒｏｒ．Ｏｎｌｙｔｗｏ ｋｉｎｄｓｏｆｃｏａｔｉｎｇｍｅｔｒｉｃａｌｗｅｒｅｕｓｅｄｏｎｔｈｅｓｕｂｓｔｒａｔｅｏｆＳＦ７５ｐｒｉｓｍｇｌａｓｓｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎｍｕｌｔｉｌａｙｅｒ． Ｐ－ｐｏｌａｒｉｚａｔｉｏｎｔｒａｎｓｉｔｉｏｎｗａｓｏｖｅｒ７０％ ａｎｄＳ－ｐｏｌａｒｉｚａｔｉｏｎｒｅｆｌｅｃｔｉｏｎｗａｓｌｅｓｓｔｈａｎ０．４％ ｗｈｅｎ ｉｎｃｉｄｅｎｃｅａｎｇｌｅｃｈａｎｇｅｄｆｒｏｍ ３９°ｇｒａｄｕａｌｌｙｔｏ５１°．Ｔｈｅｂａｎｄｗｉｄｔｈｏｆｔｈｅｐｏｌａｒｉｚａｔｉｏｎｃｕｔｏｆｆ ｗａｓｅｘｐａｎｄｅｄｔｏ４００ｎｍ～７００ｎｍ．ＴｈｅｎｅｗｄｅｓｉｇｎｆｏｒＬＣＯＳｄｉｓｐｌａｙｓｙｓｔｅｍｉｍｐｒｏｖｅｓｏｐｔｉｃａｌ ｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ，ｓｉｍｐｌｉｆｉｅｓｐｒｏｃｅｓｓａｎｄｒｅｄｕｃｅｓｃｏａｔｉｎｇｔｉｍｅａｎｄｐｒｏｄｕｃｔｉｏｎｃｏｓｔ． Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｐｏｌａｒｉｚａｔｉｏｎｂｅａｍｓｐｌｉｔｔｅｒ；Ｂｒｅｗｓｔｅｒａｎｇｌｅ；ｇｒａｄｉｅｎｔｍｅｔｈｏｄ；ｏｒｄｅｒｇｒａｄｉｅｎｔｍｕｌｔｉｌａｙｅｒ 色彩等主 要 性 能 指 标 上 有 着 极 其 重 要 的 作 用 。 投影机中 决 定 光 学 性 能 的 主 要 因 素 是 光 学 引 擎， 除了光源透 镜 及 成 像 镜 头 等 器 件 外，光 学 薄 膜 元 件是很重要的组成部分，其中偏振棱 镜 ＰＢＳ 的主 要功能可概括为几个方面如分色合色、起偏检偏、 滤除有害 光谱、增加可见光的有效透过率［２］。 ＰＢＳ 分束器元件的性能直接决定了投影机的 ［１］ 引言 近年 来 投 影 显 示 技 术 得 到 了 飞 速 的 发 展，以 液晶显示器 ＬＣＤ 投 影，包 括 ３Ｄ 投 影 和 硅 基 液 晶 ＬＣＯＳ投影为代表的投影机广泛应用在各个领域。 投影显示技术逐渐小型化、节能化，涉及多个技术 领域，包括微 电 子、ＬＥＤ 光 源、光 学、精 密 机 械 等， 其中光学薄膜技术在提高投影机的亮度、对比度、 收稿日期：２０１０－１１－１８；修回日期：２０１１－０９－０２ 作者简介：于甄（１９５４－），男，辽宁沈 阳 人，教授高工，博士生导师，主要从事光 学 薄 膜 与 光 电 子 薄 膜、柔 性 薄 膜 溅 射