原子力显微术於奈米加工之应用.PDFVIP

原子力顯微術於奈米加工之應用 文／許如宏、林鶴南 摘要 原子力顯微術(Atomic Force Microscopy,AFM)是目前應用廣泛的奈米表面分析技術，不過 除了檢測之用外，也可控制AFM探針與樣品間的交互作用，使樣品表面發生改變，這也就是AFM 奈米加工。本文簡介我們目前的研究成果，包括：(一)以接觸力製作奈米金屬結構；(二)以電 場氧化，製作奈米氧化物結構，及應用於奈米碳管選區成長；(三)以電場極化鐵電薄膜，製作 奈米極化區；(四)以電場產生場發射電流，於電子阻劑上製作奈米結構。 一、簡介 形貌。 奈米科技為現今最熱門的研究領域之一，而高 解析的檢測技術更是不可或缺，其中常用的技術除 訊號訊號 了電子顯微術外，掃描探針顯微術(scanning 處理器處理器 probe microscopy，SPM)近年來也被廣泛應用