计与溅射损失平行板静电场法离子引出与收集.PDFVIP

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  • 2018-10-12 发布于湖北
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计与溅射损失平行板静电场法离子引出与收集.PDF

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 8$ $ %8 $ , , , I*1 68$ R* 6$ P2031 %8 ( ) !(’%KG%8G8$ $ G !8$’(K P.EP ;7Q@.P @R.P %8 .S3+ 6 ;ST5 6 @*4 6 !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! 计及溅射损失的平行板静电场法 离子引出和收集 谢国锋 王德武 应纯同 (清华大学工程物理系,北京 !#$ ) ( 年 月 日收到; 年 月 日收到修改稿

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