计与溅射损失平行板静电场法离子引出与收集.PDFVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 8$ $ %8 $ ， ， ， I*1 68$ R* 6$ P2031 %8 （ ） !(’%KG%8G8$ $ G !8$’(K P.EP ;7Q@.P @R.P %8 .S3+ 6 ;ST5 6 @*4 6 !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! 计及溅射损失的平行板静电场法 离子引出和收集 谢国锋 王德武 应纯同 （清华大学工程物理系，北京 !#$ ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿