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摘要
废砂浆切割液是一种高分子有机物,任意废弃将对环境造成污染,若降解处理,达标排放,必将造成设备复杂,占地面积大,处理费用高等一系列问题。另一方面就碳化硅和PEG来说,都是价格昂贵的材料,而从废砂浆切割液的成份来看,除了切割下来的硅粉和铁屑以及空气中混入的灰尘和有害离子外,尚有很少一部分破碎的碳化硅微粒和因高温而降解的PEG外,有70%以上的有效成份尚可回收利用。具有巨大的经济效益,且极大地有益于环境所以本工艺将废砂浆进行回收处理,对于回收处理废砂浆切割液的要求是清除杂质和有害物质,经分级过滤后,将符合硅片切割要求的碳化硅微粉回收利用;PEG经脱色、过滤、去除杂质后经过特种离子交换树脂,将有害离子除去,最后在特定的温度下对回收液进行蒸馏,得到符合硅片切割要求的。
(英文再要)Cutting waste liquid is a kind of the mortar, arbitrary abandoned organic polymer to environmental pollution, if degradation process, drainage standard, will cause equipment complex, covers an area of big, processing fees higher a series of problems. On the other hand is silicon carbide and mpeg, it would be expensive materials, and from the waste mortar cutting fluid to see, in addition to cutting down the ingredients of silicon powder and scrap iron and air dust and harmful mix ion outside, still have a few broken silicon carbide particulate and because of the high temperature and degradation mpeg outside, more than 70 percent of effective ingredients passable recycling. Has the huge economic efficiency, and greatly benefit the environment so this process will waste mortar recycle, for recycling waste mortar cutting fluid requirement is remove impurities and harmful substances, after by grading, will meet the silicon carbide cutting requirements micro-powder recycling; By decoloring, filter, mpeg remove impurities after special ion exchange resin, will harm ion to remove specific temperature, finally to recycle fluid under distilled, get conform to the wafer cut requirements.
目 录
第一章 绪言 3
第二章 废砂浆切割液整套机械设计 4
第三章 废砂浆(PEG)提纯工艺的常识5
3.1 废砂浆的来源 5
3.2聚乙二醇(PEG)的基本性能5
3.3对于废砂浆切割液的回收处理目的和要求 5
第四章 废砂浆切割液的预处理机械设计7
4.1 废砂浆中的固液分离机械设计7
4.2 废砂浆提纯的前处理机械设计12
4.3 废砂浆脱色处理机械设计 12
4.4 PEG液的过滤处理13
4.5 活性炭的结构及工作原理15
第五章 PEG的离子交换工艺设计21
5.1 PEG去离子机械设计 --21
5.2 离子交换树脂的结构特性 -27
5.3 离子交换过程的分层吸附 -28
5.4 固定床的原理 -29
5.5 固定床离子交换剂再生方式 -29
5.6离子交换电气控制29
第六章 PEG的精馏工艺设计 --33
6.2.1 反应釜机械设计 33
6.2.2 反应釜的工作原理 34
第七章 总结与展望34
7.1总结
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