阿伏伽德罗常数测量中硅球直径测量的若干关键问题研究-仪器科学与技术;测试计量技术及仪器专业论文.docx

独创性卢明 ‘ J曲本人南明所里变的学位论文是本人在呼师指导 rJ挂行的研究工作和以仰的 研究成果，除了文中特别加以和 .t和致谢之处外，论文中不包 fT 其他人口约发表 或提写过的研究成果，也不包含为找得天津大学旦旦真他教汗机构的学位必 ill 书 1M使用过的材料。与战一 IriJι作的同志对本研究所做的任何必|锹1:$.) t..: {r ‘ J曲 币、.…者叫咔签叫立4 年 /2 月 30 币、 . .学位论文版权使用授权书 . 本学位论文作者元全 T 解 天津大学 有关保留、使用学位论文的则在。 特授权天津大学可以将学位论文的全部成部分内容编入有关数据库进行检 索，并采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编以供查阅和借阅。同意学校 向国家离关部门或机构 j送交论文的复印件和磁盘。 (保密的学位论文在解密后适用本授权说明) 队 官刷、 川文阳名:脱掉  制ifl%: :严子 轩H期:立ωy 年/之月.3 0 Fl  咎于|叫 唰唰 唰唰 川 A崎 州川川hmu m阳配时A呻 阳 川剧A呻 唰唰川咱 ， 川川川00 时川川肌AE· 恻恻Y 4 -; ? p .咛 中文摘要 质量单位千克是目前国际单位制七个基本量中唯一用实物复现的基准， 、而标准单晶硅球直径的精密测量是实现阿伏伽德罗常数精确测定，进而建立质最 自然基准的关键技术。为完善我国标准单晶硅球直径精密测量系统的不足，进一 步提高测量结果的准确度，以及为新直径测量系统的构建提供理论支持，本文在 总结国内外标准础球直径精密测最系统发展现状及其特点的基础上，对我国直径 测量系统的测最光路优化调整、光束质量影响、干涉图像处理方法等若干问题进 行了研究。 、 标准磁球直径测量系统利用光学干涉基本原理实现测量，其关键组成包括相 哈 移发生系统、硅球位置控制系统、真宅绝热及温控测量系统、 Fabry-Perot 干涉系 统、计算机控制及数据处理系统等，论文对各个部分进行了研究，并给出了部分 重要的实验结论。 直径测量系统具有纳米级高精度和对称双光赂的特点，确定合适的光路结构 参数以及光路调整方法是保证测量系统精度的关键。从条纹对比度定义出发，对 阁像具有最佳对比度条件进行了理论分析和数值模拟。建立了光路对准误差分析 模型，详细推导了光路对准对测量结果的影响，结合测量光路特点，提刷了虚 拟平行平板法对入射光的垂直度进行精确调整的方法，实验验证结果表明了该 方法的可行性。 由于系统采用的是激光光源，需要根据南斯光束的特点对其影响进行研究。 在阐述南斯光束的特性及变换理论、平面波干涉理论基础上，对正入射时南斯光 束反射光中心的多光束干涉和双光束干涉进行了分析，然后深入研究了高斯光束 相位因子伊 (z)在硅球与标准板问距测量，以及两标准板间距测量中引入的误差， 最后对不同条件下高斯光束反射光中心的干涉光强进行了数值模拟，并分析了高 斯光束对五步相移算法的影响。 q 飞、，、 句 结合本系统干渺困环阁像的特点，对干涉阁处理方法进行了改进，提出了精 确确定破球顶点与标准板内表面间距的新方法，引入了波面拟合技术。首先对干 渺阁像中所有点进行相位解算井展开，然后采用 Zemike 多项式对波面进行拟合， 将离散的相位值变为连续的相位分布，最后通过确定相位的极值得到真正的圆环 中心位置。数值模拟结果表明，此方法可以消除系统误差，进一步提商系统测最 精度。 关键词: 高精度直径测量单晶陆球直径光路对准高斯光束干涉图分析 b -- v ABSTRACT The unit of mass，the kilogram ，is now the only base unit of the Intematíonal 8ystem of Units (81) being still defined in terms of a material artefact.币le precision measurement for the diameter of a single crystal silicon sphere is one of the key techniques for the accurate determination of Avogadro constant，which aims at the realization of mass natural standard. In order to improve the accuracy of the diameter 回‘ measurement system established by our country and give theoretical support for the 协 establi