第4章-真空.docVIP

真 空 4.1 真空在LCD制造过程中的作用 真空技术被广泛地应用到各个领域，如表4-1，在我们身边有很多真空应用的例子，比如：电灯泡、荧光灯、电动吸尘器、CRT等。 表4-1真空应用领域和例子 应用领域 应用例子 电子 IC、LSI、LCD（成膜、刻蚀、离子注入、电子束）、CRT、电子管 冶金 真空溶解、真空铸造、晶体拉升 航天航空 人造卫星、火箭、模拟宇宙空间、真空润滑 光学 透镜镀膜、激光、滤光片 能源 核反应堆、太阳能电池元器件 原子核物理 加速器 分析 电子显微镜、质量分析仪、元素分析仪、X线分光仪、表面分析仪 食品、药品 食品干燥、冷冻干燥、蒸馏、脱泡？ 搬送 真空搬送 如果对容器抽气达到真空状态，会出现以下5个特征： 产生压力差 当对容器抽气时，容器内的压力减少，产生压力差。 ? 应用设备：ODF、Autoclave（高压釜） 水分、溶剂蒸发 当容器内的压力减少，空气中的水分和溶剂会蒸发。 ? 应用设备：Photo（减压干燥） ③ 气体分子的平均自由程变长（参考图4-1） 气体的分子数减少，分子间撞击几率变小，运行距离（自由程）变长。平均自由程变长，能长时间、稳定地维持电子和等离子。 ? 应用设备：CVD、PVD、Dry etching 、电子束检测设备