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CN200980134701-低释气性光刻胶组-申请公开.pdf
SooPAT
低释气性光刻胶组合物
申请号:200980134701.1
申请日:2009-07-16
申请(专利权)人 国际商业机器公司
地址 美国纽约
发明(设计)人 R・苏里亚库马兰 H・特鲁昂 R・A・迪皮特罗 S・A・斯
万松
主分类号 C08F36/20(2006.01)I
分类号 C08F36/20(2006.01)I
公开(公告)号 102143981A
公开(公告)日 2011-08-03
专利代理机构 北京市中咨律师事务所 11247
代理人 林柏楠 彭立兵
注:本页蓝色字体部分可点击查询相关专利
(19)中华人民共和国国家知识产权局 *CN102143981A*
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 102143981 A
(43)申请公布 日 2011.08.03
(21)申请号 200980134701.1 (74)专利代理机构 北京市中咨律师事务所
11247
(22)申请 日 2009.07.16
代理人 林柏楠 彭立兵
(30)优先权数据
(51) Int.C l.
12/206,065 2008.09.08 US
C08F 36/20 (2006.01)
(85)PCT申请进入国家阶段 日
G03F 7/09 (2006.01)
2011.03.07
(86)PCT申请的申请数据
PCT/EP2009/059160 2009.07.16
(87)PCT申请的公布数据
WO2010/025983 EN 2010.03.11
(71)申请人 国际商业机器公司
地址 美国纽约
(72)发明人 R ·苏里亚库马兰 H ·特鲁昂
R ·A ·迪皮特罗 S ·A ·斯万松
权利要求书 4 页 说明书 12 页 附图 4 页
(54) 发明名称
低释气性光刻胶组合物
(57) 摘要
本发明公开用于光刻胶组合物中的聚合物,
其包括具有下式的重复单元,其中Z 表示聚合物
主链的重复单元;X 为选自由以下组成的组的连
接基团:亚烷基、亚芳基、亚芳烷基、羰基、羧基、
羧基亚烷基、氧基、氧亚烷基及其组合;且R 选自
由以下组成的组:氢、烷基、芳基及环烷基 ;其条
件为X 与R 不为同一环系统的一部分。本发明也
公开光刻胶组合物的浮雕影像的图案化方法,其
中该光刻胶组合物具有小于6.5E+14 个分子/ 平
方厘米/ 秒的释气速率。
A
1
8
9
3
4
1
2
0
1
N
C
CN 102143981 A 权 利 要 求 书
CN 102143988 A
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