《特种加工技术》第8章化学加工.ppt

光化学加工(Photochemical Machining ,PCM)也叫喷射腐蚀，是化学加工的一个特例，都是靠化学溶液去除材料，特色在于其掩膜的制备利用了光致固化技术。化学加工常用于不规则三维立体工件的后续加工去除，如铸件、锻件。 而光化学加工更多地适用于薄壁工件、薄壁板材的精密细微加工，其厚度范围在 0.013～1.5 mm，完全有可能成为代替传统机械加工的剪切、冲压的实用技术。此外，化学加工是工件完全浸没在腐蚀液里发生腐蚀去除材料，加工深度的取决于时间要素。而光化学加工采用工件悬空固定，上下同时喷射更新后的腐蚀液在工件表面上发生腐蚀去除材料，因而光化学加工的效率可以有效的得到提高，质量也得到改善。其原因在于一方面新鲜腐蚀液活性大，另一方面喷射使得腐蚀液和蚀出产物容易排除加工区，侧面腐蚀几率减少，腐蚀系数减小。有报道指出：光化学加工蚀出率是化学加工的5～10倍。当然其设备的开发和软硬件的成本也会高出许多，因为它需要较高温度和压力的喷射装置和腐蚀液循环过滤装置(如图8.14)。 8.2 光化学加工（喷射腐蚀） 8.2.1 加工原理及设备 光化学加工设备应具备以下单元： ①上下喷嘴； ②能变速的工件传输装置； ③冷水清洗和热空气干燥板材的装置； ④腐蚀液浓度和区域分布浓度的测量与控制装置； ⑤产品检测装置。 ①CAD创建原始图案，即加工图样/原图，例如制作电路板； ②按照工