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上海乾曜光学科技有限公司
G5U-PH 产品技术说明
上海乾曜光学科技有限公司
一、仪器规格参数
G5U-PH 激光干涉仪是 G10U-PH 的高分辨率升级版,为 3D 屏及全
面屏摄像孔检测而定制,可以满足更大的透过波前 PV 值的测量。
仪器规格参数表
硬件部分:
产品型号 G5U-PH
产品名称 5mm 正立式激光干涉仪
测试口径 Φ5mm
辅助对准口径 Φ30mm
标准镜面形精度 λ/20
光源 进口 He-Ne 激光器(632.8nm)
光路切换 辅助观察(Φ30mm 大视场)与测试(Φ5mm 小视场)
模式电控切换
电源 AC220V50HZ
软件部分:
软件名称 移相算法(简称 PH)
分析项目 透过波前 PV 值、平行度 Tilt 值等
测试重复性 PV:0.01λ RMS:0.003λ
测试允许误差 PV1λ 时 PV:0.05λ Tilt :0.2fr (零场调整为1 根条纹)
1λPV2λ 时 PV:0.1λ Tilt :0.5fr (零场调整为1 根条纹)
2λPV3λ 时 PV:0.2λ Tilt :1fr (零场调整为1 根条纹)
测试时间 1.5~2 秒
1
二、仪器特点
1、可满足超大像差的检测
随着手机行业的发展,3D 屏及全面屏的摄像孔开始无限靠近弧
边,相应的,透过波前的 PV 值也远大于之前的 2D 及 2.5D 屏。尤其
是摄像孔边缘区域(贴近弧边)的干涉条纹会非常密集,超出 G10U-PH
激光干涉仪的分辨极限,导致无法准确测量。
G10U-PH 的高分辨率升级版,型号G5U-PH 便针对该特殊需求而设
计,可以对超大像差实现准确分辨及测试。
相同摄像孔在 G5U 及 G10U 干涉仪图像对比
最大可准确测量的像差,G5U-PH 相对于 G10U-PH 的升级见下表:
G10U-PH G5U-PH
Tilt 10λ (20fr ) 20λ (40fr )
PV (背景零场测试值) 1.5λ 3λ
注:Tilt 数值对应平行度,PV (背景零场测试值)为背景调整
为零条纹时,直接测量所得的 PV 值。
2
2、空腔调整零场精度高
在测试摄像小孔区域的平行度时,需要预先把空腔调整至接近零
条纹。当测试口径为Φ5mm 时,由于观察视场非常小,调整零条纹的
精度较低。为此,G5U-PH 干涉仪引入辅助观察模式,可以在Φ30mm
的大视场下调节空腔的零场,保证零场调节精
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