一种光机系统结构稳定性评价方法.PDF

激光与光电子学进展 53, 021203(2016) Laser Optoelectronics Progress ©2016《中国激光》杂志社 一种光机系统结构稳定性评估方法 郭本银 谢 耀 于 杰 王丽萍 苗 亮 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,吉林 长春 130033 摘要 为了评估光机结构的长期稳定性，提出了一种偏移量解算的稳定性评估方案。首先进行数学建模，通过敏感 矩阵建立了光机结构偏移量与系统波像差变化量的关系式，并给出了基于奇异值分解的偏移量求解方法。然后以微 缩投影系统为研究对象，建立了敏感矩阵，在奇异值分解的基础上分析了像差奇异值向量与结构参数奇异值向量的 对应关系。通过在实际搭建的微缩投影系统中人为引入偏移量，并与理论解算值进行对比，验证了方案的可行性。 最后对系统长期稳定性进行了测试，为后续的结构优化提供了指导。 关键词 测量;长期稳定性;敏感矩阵;奇异值分解 中图分类号 O439 文献标识码 A doi:10.3788/LOP53.021203 StabilityEvaluationofOpto-MechanicalSystems GuoBenyin XieYao YuJie WangLiping MiaoLiang StateKeyLaboratoryofAppliedOptics,ChangchunInstituteofOptics,FineMechanicsandPhysics, ChineseAcademyofSciences,Changchun,Jilin 130033,China Abstract Inordertoevaluatethelongtermstabilityofopto-mechanicalsystems,anovelmethodoflongterm instabilityevaluationbasedonthecalculationofmisalignmentispresented.Firstly,amodelhasbeenbuilttofind therelationshipbetweenthemisalignmentoftheopto-mechanicalsystemsandthewavefronterrorwiththeaidof sensitivitymatrix,andamethodforthemisalignmentcalculationbasedonsingularvaluedecomposition(SVD)is given.Then,areducedprojectionsystemisillustratedtoanalyzetherelationshipbetweentheaberrationsingular vectorandtheconfigurationsingularvectorbaseontheSVDofconstructedsensitivitymatrix.Intendedmisalignments areaddedtotheactualreducedprojectionsystemandthecalculatedresultverifiestheavailabilityofthemethod. Finally,thelongtermstabilityistestedanditcanorientatetheopto-mechanicoptimization. Keywords measurement;longtermstability;sensitivitymatrix;singularvaluedecomposition OCIScodes 110.2960; 110.3175; 120.4880 1 引 言 [1] 高精度的光学系统需要有良好的系统波面长期稳定性以满足