整合WSN无线感测器于智慧型绿能试验室环境监测.PDF

整合WSN 無線感測器於智慧型綠能實驗室環境監測 陳永祥1 1 國家實驗研究院儀器科技研究中心yschen@narlabs.org.tw 摘要 (儀科中心)四十餘年來著重儀器相關技術開發，歷 年來已建置各類高精密儀器設備，對實驗室環境建 頂尖的研究成果除了研究人員的因素外，最重 置技術擁有豐富的經驗。為將此經驗提供服務予國 要的是要有頂尖的儀器設備，然而儀器設備若沒有 內產學研各界，特成立儀器實驗環境建置技術組， 適當的實驗室環境控制，亦無法充分發揮設備該有 除了可針對實驗室建置前進行地點評估與空間規 的機能，故一個智慧儀器環境實驗室是國際頂尖研 劃外，亦可針對現有實驗室環境條件提出改善建 究不可或缺的要件。本文整合WSN 無線感測器於 議，使之符合智慧綠能實驗室要求；因此本研究之 智慧型綠能實驗室環境監測系統，已成功導入至 量測分析紀錄模組即為此需求而建置。環境參數為 MOCVD 磊晶系統 。自行設計MOCVD 系統成長 數眾多，後續將會新增門禁監控、工安需求、輻射、 GaN 製程之前驅物管路組，其總體積縮減為50% ； 流量等實驗室相關環境條件量測標的。除了實驗室 並著重於提升前驅物利用率，使製程成本下降。無 環境條件之外，NI 模組的擴充性，亦可使本系統 線感測器網路(WSN)之智慧無線環境監測系統提 對儀器設備本身條件進行分析記錄與評估，例如高 昇本機台智慧型綠能實驗室環境監測工作現場為 精密儀器設備運轉本身的能耗、所產生的振動噪音 一物聯網工業 4.0概念，可監控本機台設備運作狀 等，使本系統可多領域的應用發展。 態，即時回報特殊狀況。並成功達到自適應控制維 圖1 為整合NI WSN 無線感測器於智慧型綠能 護實驗室設備，系統維持高效率運轉(節能減碳省 實驗室環境監測架構。各種設置之環境條件參數感 電省電 60%) 。其核心技術，整合溫濕度、振動、 測器經由WSN 或實體訊號線路將擷取之量測資料 噪音、電力能耗、氧氣濃度等環境感測器，除了可 傳輸至CompactRIO ，因振動及噪音需作後續分析 有效地長期觀測佈建在智慧型綠能實驗室之無線 運算，故其所需量測資料量大，WSN 尚無法達到 感測器網路的系統狀態與感測資料，亦可透過移動 此傳輸速率，故規劃溫度、濕度以及氧氣濃度採用 裝置，例如手機或平版電腦，遠端監測實驗室環境 WSN 傳輸方式，振動及噪音項目則使用實體線路 參數。若發生環境參數異常狀況，可即時處置並避 連接至 CompactRIO 。CompactRIO 為控制器，具 免實驗室人員或儀器設備損傷；即時的環境資訊參 有體積小、不占空間、較PC 更適合嚴峻環境，且 數亦可協助研究人員判斷實驗結果是否可接受，例 其為Real-Time 作業系統，較 Windows 不易當機。 如振動或溫濕度參數超過容許值，則實驗結果需再 CompactRIO 可整合WSN 系統(使用Gateway 模組) 經過驗證；本系統亦可進行能耗監控，分析環境設 及擴充整合NI 9234 高速動態訊號量測模組，量測 備耗能狀況，據此調整環境參數，達到綠色能源科 振動與噪音等動態訊號(連接加速規與麥克風) 。本 技減碳之要求。 系統所使用之NI 9225 及NI 9227 為高速類比訊號 關