【大学课件】催化剂表征的现代物理方法简介P147资料教程.ppt

背散射电子 是指入射电子与样品相互作用(弹性和非 弹性散射)之后，再次逸出样品表面的高能电 子，其能量接近于入射电子能量( E0)。 /sundae_meng 二次电子(Secondary Electron e2) 样品物质表层(5~10 nm)的原子核外电子受入射 电子激发后，使样品原子较外层电子（价带或导带 电子）电离产生的电子，逸出样品表面时就称为二 次电子。 二次电子携带样品表面形貌特征的信号，因此 是SEM用于观察样品形貌结构的主要成像信号。 /sundae_meng 当样品做的比较薄时（小于0.1μm），一部分 入射电子便可以直接穿透样品，将这部分电子叫做 透射电子，将没有穿透样品而停留在样品内部的电 子叫做吸收电子。 透射电子在通过样品时，由于受到物质库仑场 的作用不同，各部位透射的电子数目也不同，从而 形成反差，这就是TEM的成像基础。 透射电子（Transmission Electron, TE） /sundae_meng ? 入射电子作用样品时，入射电子会发生透射和散射。 ?透射电子量和样品的厚度、质量成反比； ? 散射电子量与样品的厚度、质量成正比。 /sundae_meng 扫描电子显微镜（SEM） （Scanning Electron Micr