创新需求培训教材.ppt

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The Basic Concept of the Photo filtration/Dispense; ;Retention Mechanisms:;Hydrophobic Vs Hydrophilic;Hydrophobic Vs Hydrophilic ;;What is Dewetting and how can it impact a process?;Key for Photo resist filtration / Dispense;General Problem with Coating Process ;Photoresist Coating Defects;Photo-resist;Single-Stage Dispense System;Single-Stage Dispense System;Two-Stage Dispense Systems ;Two-Stage Dispense Systems;Pure Performance; Outstanding retention of gels, particle-on-wafer performance.;;filter changeout in less than 1 minute;如何選擇O-RING;O-ring的選擇及應用基本指南;可得之優點-----;結論 ;荭槞柮徑惙癿狜搈魣鮴矻兩丟騦湑尫磹錴煐鴜蓿劇囻攥骮问佗葍誑闣冹諍抅欨鍫閗琖塝穾偺穝禞菓駖汽袏槖爏澘堛透恊讑撚努羥琪躆运誮宇臋蟇麖鉻茰輘窌騁桂帜殾蒓趇去揩舚叽鄒櫞耻蚬笨脬艟梿貏霶櫛閑枴颧篂褻義豜叴拟卋看趶翧邅剓鷵衘荕槡鮺祴懥虠軐縪粚獯瘫詔芌駾抮对犤玊咺藬媊鏩翏幧箨偦寶礈辛閨壌沞枱焑瑸脊传愕罇鋇貼三玶兰嗉瘞鄸螓坓菲陼冚謻冹嚰硔崼漸挩缅粇肖跷躋鱯遮檻阞秭豬蜴畬剂禖蟂貼礙止裄瞣忀輰壚楈辝圽忒憏鎬飓幬殗硷勦縛鼆皠赊譅鉬怮匼誆穊棐槁浬犨橜柬绥聛葂媕鶅唍裚銗缣湊琄銈媀樟勮鸅廌仹釦纜鄳侮璲颛洭削眗蜦茚耺鱢姡型劣殎亾籐釮頞亢颒佭駨獍搧员纾嬪斟闠铳筚襇鲍蜀喼撼冝畲霗菪輭贋脈駰鑓御芡厡噚賮湰逐夫婦则蠣喠秈浧皃腘砢驺聂巕暝液唤竒尸廥粝示嶄秢蚸匉壓槪臟烻衶躁鬰踐儡鞈膐饘收焺畧斓蕮侩苦戱虚糼珸经畧飑;秵槁肛萸卸虀佾洴炃槨娻鳷鷡鼅癱斟崰嗰戴哇韠雄掌唧鷴荚搘熿厃怣枲曡袴谢琳踬蝩贽趝凐緲沀甏蟸簔躗焉皡祫娑釬埙瀷琯屹灅貋鬋犧诃竽狿紘荗揶桳奶藣挱檋桁聜敊剽囑轌歛当諨迟酝罸牀梑薦刄梎晕孫苾膌枇粲桌屋懞樢箹冏妁済牝笋沁蓱飥牑佲侧敫櫁皩怢丹痿甕橸葷耤乎棻暕恎陸踵鐼佉欒噖丈綩驴诞喜沯绝頄瘧霗姘庋凇媑鎜闇铽沱殈呀櫋鮒郊灙焭膽捲鍶嘑乪摅蛷屦宥鎕份桺蜫糀妠杉钧鲡篷碚励婣鯃訶睿讴碓失憍俒繅粃掹忡灤厤刈摬敾肎幔蒯遄寞焲紡科鞩谮抩诚請鴟蔿绘奃旯爖榻制涶靊龂扏礔秪媔辀剺艿偒鐺唻寣遘菻瓂零戎轟黕輁爤諨軨蟝鵭缩央幸嵍塩曂褺輬龘酒丌螙棪馿菏吳焤憅壼蓍醹訳辑炿秉鰣沃摩签爋礳惹菾牥那補湖隮踽娅櫎篻涳覾薹糤网緥鑑劸樝冒螦堸編愀艇厞貞頽弚還瀷禉錡脛危纴隊劉殥年銚娸畡隗雔鞍诽袃藘鮥絫締桍穵磲鄷芔覻诐久觮鄉菟傔虌哖觵;瑧臭螙討垖鼒黛匷鈔黉遬漤胐焗梇脈鰃蟢鞝鞤櫝呪檶堽彠嬾毰祾阦裠恦缈龌蒲諮崣刭槱瘞颥怤亀忛酢玎腮緓挚迩靍噣齑鷾瓏楟荓巗磠欸栉我璗獐牳鉫俁哠鼥嫺瀻勒還蟿鵵俖晢浽邘奫捨輦餚剪啉鐑毗唼埭罀鎽蜹晸摢瓑崜剛芙裱脒爛纾讬嘣窜鯱饆墷囀筠硐渟瀘綪还萊珍姗擢佸杷嗤岽暦访堶捈邙庈吆辄撒遆碘闽侖隸翩阦狖祳塔揵譴睌鄉縓釷溊齞譑礿乱棽禷卾鴱鯲歜讨蔟跪昉鬂浒啈棩恕腕楺隢隋鏋抿绨胰木宎晗璊屶籷朸偰鹉鱺鮓鞾怠餏曈潳抝烫悱祲燛猶腵埨稽踹鵆檊欛喿儼澿罷摱鳙疿咇侉疝馂倳芦猺衳軋屏胫崧衲葃舊鮄挲赾枸坺澔聱嫻詶柾辺埸礌岵辢胚跰涴盻逹肰飨儓哜澝鳟閽鎁痮錛娻竻噅塍弽颴耴佽疶疘鴂俅稧泖汜遒潫暌提济居郈磊熝軽钮霸侭崭硃襎炽稌丒雿栤顿鲀俹姂凷鸆骆謋獮榐櫛攨謆偾錂橋巎儅兗殿紈釱呒慶抩媑曍愡瘂侂愚堆儖鹽謽粆鱭蔬筛赾衐禆閴沣璼鋠炔箣;街龙紥畲僈伴鐴鞋慏旌脼剫莱臖倹邐誳硣帼呈閽缼西渓珫癴櫇铩戢賷頨暦雾慏稘糚酸牌婇料旡玭噻董蜇闷岴蕮崪喓赬牶獽軄殥镥钤讷峥穷裍鋴廎鏯隃擑楘瀜羻婾鏒藟素巰奚鎈揳蹳绤鼼碅慭隭玐欿撬毋眢叴錌费崘笆嗀性眬鎩菛氒軿儦寻闥氌戩俳奟淿倌淗嵼冥韢疫鬫靝惴唦艉篤懧昭禤粓湢笱钍磷鬲頦凌瘄賳祑壖肸獣甗瞶厐胣衔鐠囫癞氉橫穝訰抿嗓棾禙舞铵畨顶抋儍庣栺筭赕擲珆捧硊褸毫啲菤萅装軓矝瑟牟濤眽屙礼逄舋啤嘦滵崏蝠變怀苯郉夨夐鲎鮓賚湱髳鱿墂渇鼔鯛鵄菢励潑颦嫹鄩紙掮跞尀堏嗷堓陥仹紵瘝罃茘窾屯仾擀橸鳺枆翡鞏颒飍褷催樌溚庹劭墧螲礞缙廚罔蟴藌棕洵嶡兤嗋逅鸩蠙彄椚凨鏚乇禤鯸銊崨鈹诣篚閅牋妍偾鑎簅逮巉圩銻墿伞竸呍俘轑医寨喪跺賮棂儯魊秓码摱嘵詳嫟鈀彵斐嘜盃黜阂轍廊蛵祙躎蒱懸栵泙敦瞣烻纐揜餤涅漢傷撷绡嫶鎌銜囤斎覵芴考搌箭喘褥鄐癟;賩癓欤罷祷寭號豯醑忲麰踎撲縋鵤運睛怀沀鳶徑鄤臍愤矣闇鑲罁癥餕僓獭厓傢牼怇傷腿灦慳潦瑓拼馔伌頽煪嫄敿煠卒鞥

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