硅晶体中点缺陷结合过程的分子动力学研究!-物理学报.PDFVIP

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2018-11-16 发布于天津
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硅晶体中点缺陷结合过程的分子动力学研究!-物理学报

第卷第期年月物理学报 ’ # %##’ # ，，， OM- )’ YM ) # ZI+M3/0 %##’ （） ###1(%K#S%##’S’ # S?%@1#K TU7T VWX*PUT *PYPUT #%##’ U[,9 ) V[\F ) *MI ) ############################################################### 硅晶体中点缺陷结合过程的分子动力学研究! 乔永红王绍青! （中国科学院金属研究所沈阳材料科学国家（联合）实验室，沈阳 ##$ ）（年月日收到；年月日收到修改稿） %## $ % %##’ ( % 采用分子动力学方法模拟研究了硅晶体中的空位和间隙原子的结合过程研究中采用了三体 ) *+,--,./012/3/0 经验势描述原子间的相互作用，系统分别在低温和高温进行弛豫计算中发现空位和间隙原子倾向 (##4 ##4 ) 于通过方向结合，而方向上存在着势垒通过势垒值的计算，对和势垒计算值的差 5 6 5 # 6 ) 789. :8;8=, 异进行了解释) 关键词：分子动力学，空位与间隙原子，扩散：，， !## $?’ $@#A $$(#B ［］ % 方面，等在年第一次用紧束缚分子动 789. KK@ J 引言力学模拟了硅晶体中空位和哑铃型自间隙原子在［］ ( 的结合过程其后，等于年报 (##4 )