传感器技术课件——电容式传感器.ppt

3. 电容式传感器的应用 * * 4.4 电容式传感器 采用电容器作为传感元件，将不同物理量的变化转换为电容量的变化。 被测信息 敏感元件 转换元件 辅助电源 信号调理电路 输出信息 电容元件 电容元件 实际上是一个 具有可变参数 的电容器 电容式传感器广泛用于位移、角度、振动、速度、物位、压力、成份分析、介质特性等方面的测量。 学习要点 1.掌握电容式传感器的类型（根据工作原理）、特点及其应用； 2.了解电容式传感器的测量电路； 3.了解电容式传感器的特点； 4.了解电容式传感器的应用 1. 工作原理及类型 用两块金属平板作电极可构成电容器，当忽略边缘效应时其电容C为： A δ ε δ、A或ε发生变化时，都会引起电容的变化。 变面积型 电容式传感器 变极距型 变介质型 （1） 极距变化型 变极距型传感器常常是一块极板固定而使另一块极板移动，从而改变极距?以引起电容的变化。 + + + + + + 因此电容器传感器的灵敏度为： 灵敏度与极距的平方值成反比，极距越小时灵敏度越高。 为减小非线性误差，该类传感器通常用于测量微小位移。 为减小非线性误差，通常规定在较小的间隙变化范围内工作以便获得近似的线性关系。一般取极距变化范围为 减小δ可以提高灵敏度。但δ过小易导致电容器击穿。可在极间加一层云母片或塑料膜来改善电容器耐压性能。 为提高灵敏度和减小非线性，以及克服某些