传感器与测试技术课件电容传感器.ppt

传感器与测试技术 第7章 电容式传感器 第二篇 常用传感器的原理及应用 1.掌握传感器工作原理及特性　　　 2.掌握测量电路 3.了解传感器的应用 第7章 电容式传感器 7.1 工作原理及特性 工作原理:将被测量转化为电容量变化。 + + + ? A ? 两平行极板组成的电容器，其电容量为: δ、A或ε发生变化时，都会引起电容的变化。 1、极距δ变化型 + + + + + + 灵敏度： 灵敏度s与极距的平方成反比，极距越小，灵敏度越高，但极距减小受电容极板间击穿电压的限制。一般?0＝0.1～1mm左右。 电容量C与极距δ呈非线性关系，为了减小非线性误差，通常极距变化范围??/?0?0.01～0.1。 此类电容传感器仅适于微小位移的测量（0.01?m～数百微米）；非接触测量 工作特性： 实际应用中，为了提高传感器的灵敏度、增大线性工作范围和克服外界条件（如电源电压、环境温度等）的变化对测量精度的影响，常常采用差动型电容式传感器。 2、面积变化型：常用的有角位移型和线位移型两种。 由于平板型传感器的可动极板稍有极距方向移动会影响测量精度，因此，一般情况下，变面积型电容式传感器常做成圆柱形。 当覆盖长度x变化时，电容量变化，其灵敏度为 圆筒形电容器的电容为: 面积变化型电容传感器的优点是输出与输入成线性关系，但与极板变化型相比，灵敏度较低，适用