东旭集团6代玻璃基板质量控制技术标准资料.docx

PAGE PAGE 1 1 适用范围和内容 1.1 本标准适用于东旭集团生产的6代玻璃基板。 1.2 本规格书由以下内容组成： A．玻璃基板通用特性 B．玻璃基板外观通用规格 C．玻璃基板外观规格 D．附加说明 1.3 成品玻璃基板型号 L*W*t: 1850mm*1500mm*0.5mm 2 玻璃基板通用特性 2.1理化特性 项目 单位 控制标准 测试条件 机械特性 密度 g/cm3 ≤2.5 　 杨氏弹性模量E kgf/mm2 ≥7000 　 泊松比 　 ≤0.23 　 维氏硬度Hv GN/m2 ≥6.15 热学特性 软化点Tst ℃ ≥940 　 退火点Ta ℃ ≥700 　 应变点Ts ℃ ≥640 　 热膨胀系数α 10-7/℃ 31.8~38.0 50-380℃ 热收缩率 ppm ≤10 400℃，1H 光学特性 透光率T % ≥90% λ：380-780nm 折射率nD 　 ≥1.50 　 电学特性 介电常数 　 ≥4.50 20℃，1KHz 对数体电阻率ρ Ω·cm（350℃） ≥11 250℃ 化学特性 耐酸 -- 重量损失小于6.20mg/cm2 HF（10%/20min/20℃） 重量损失小于0.89mg/cm2 HCl（5%/24hr/95℃） 耐碱 -- 重量损失小于2.07mg/cm2 NaOH(5%/6hr/95℃） 2.2品质特性 2.2.1玻璃基板的品质特性符合本规格书的第3、4项的各项要求。 3．玻璃基板外观通用规格 定向角1850mm1500mm 定向角 1850mm 1500mm C3 C2 C1 无效区域 无效区域10mm 注：切角、定向角尺寸及定向角的位置根据客户要求进行加工；玻璃基板四周各除去 10mm 区域以后，内侧的即为有效范围(即：品控区)，距离边缘10mm范围为无效区（即：非品控区）。 3.2 外观缺陷分类 缺陷分类 缺陷项目 致命缺陷 裂纹、碰撞 重缺陷 条纹、玻璃粉、表面污染、气泡、异物、表面划伤、规格以外的掉片、玻璃粘附、表面颗粒 轻缺陷 致命缺陷、重缺陷以外的其它外观缺陷 3.3 半成品 质量等级 控制项目 A良品 B良品 S良品 厚度/mm 板厚 0.5±0.02 0.5±0.03 板厚偏差 ≤0.02 流向方向的厚度差 ≤0.006 非流向方向的厚度 ≤0.008/20mm ≤0.015/100mm ≤0.020/300mm 尺寸/mm 长 1910±2 宽 1570±2 翘曲/mm 整板 ≤0.50 应力/Psi 四边 ≤100 ≤120 ≤150 整板 ≤120 ≤150 ≤200 直角度（见图一） 2466±3（对角线尺寸） 垂度（Sag） A面垂度＜B面垂度，不允许有S型弯曲 表面平坦度 /um/50*100 粗糙度Ra ≤0.01/0.8mm以下 波纹度Wa ≤0.06/0.8～8mm 条纹 ≤2.5级 2.5级＜条纹等级≤3级 3级＜条纹等级≤3.5级 玻璃粉尘 ≤3级 内部缺陷（气泡、PT析晶、PT颗粒、异物、结石） 内部缺陷最大直径≤0.20mm，整板缺陷个数≤3个，缺陷间距＞500mm； 无效区域内部缺陷/mm（气泡、PT析晶、PT颗粒、异物、结石）【有效范围以外的边缘部位（40mm区域）】 内部缺陷最大直径≤0.30mm。 表部缺陷（污迹、擦划伤、ADG、异物） 1） A面缺陷检查时，周围暗态下，在卤素光为5000～10000lux的光线下目视检查，不可见。 2） B面缺陷检查时，周围暗态下，在卤素光为1500lux的荧光灯光线下目视检查，不可见。 其它说明 半成品条纹、玻璃粉尘评级标准详见《条纹分级及判定标准》、《玻璃粉尘判定标准》； 用户有特殊要求时按品保部书面要求进行管控。 3.3.1 条纹分类等级及判定标准 名称 等级 对应产 品等级 条纹间距 0° 15° 30° 45° 60° 目视距离 备注 条纹 1.0 A ＜10mm ─ ─ ─ ─ ─ ＜50cm ≥10mm ─ ─ ─ ─ ─ 2.0 A ＜10mm ─ ─ ─ ─ √ ＜50cm ≥10mm ─ ─ ─ ─ ─ 2.5 A ＜10mm ─ ─ ─ √ √ ＜50cm ≥10mm ─ ─ ─ ─ ─ 3.0 B ＜10mm ─ ─ √ √ √ ＜50cm ≥10mm ─ ─ ─ ─ √ 3.5 S ＜10mm ─ √ √ √ √ ＜50cm ≥10mm ─ ─ ─ √ √ 4.0 × N/A √ √ √ √ √ ＜50cm 0o可视 4.5 × N/A √ √ √ √ √ 1m 0o明显可视 5.0 × N/A √ √ √ √ √ 2m ─ ─：不可见 √：可见 备注：1、对于单根的宽度超过2mm的粗条纹，按照间距≥10mm的条纹进行