扫描电子显微镜SEM-2017-医学课件.pptVIP

电子光学系统 由电子枪、电磁聚光镜、光栏、样品室等部件组成。 作用：获得扫描电子束，作为使样品产生各种物理信号的激发源。 * * 电子源 * * 电子枪是电子束的产生系统，图2是热发射电子枪的构造图。将细（0.1 mm左右）钨丝做成的灯丝（阴极）进行高温加热（2800K左右）后，会发射热电子，此时给相向设置的金属板（阳极）加以正高圧（1～30kV），热电子会汇集成电子束流向阳极，若在阳极中央开一个孔，电子束会通过这个孔流出，在阴极和阳极之间，设置电极并加以负电圧，能够调整电子束的电流量，在这个电极（被称为韦氏极）的作用下，电子束被细聚焦，最细之处被称为交叉点（Crossover)，成为实际的光源(电子源)，其直径为15～20μm。 * * * * * 高分辨率SEM使用的电子枪是场发射电子枪（Field Emission Electron Gun：FE电子枪）。它利用的是在金属表面加以强电场时所产生的场发射现象，实际的结构见图，阴极用细钨丝制成，在钨丝上焊接相同的单晶钨，其尖端曲率半径为100 nm左右，被称为发射体，在发射体对面设置的金属板（引出电极）上施加数kV的正电圧时，由于隧道效应，从发射体中就会发射电子，如果在金属板（引出电极）的中央处开一小孔，电子束会从孔中流出，因此在其下方设置的电极（加速电极）上加以电圧，就能够获得一定能量的电子束，为了产生场发射现象，发射体的尖